精密液位计

德国科威尔专业生产导杆型浮球液位计、磁翻柱液位计、超声波液位计等工业仪器仪表。在中国上海设立了总代理商&mdash 高准国际贸易(上海)有限公司，所经营的所有产品为德国原装进口的，技术领先，市场占有率高。　　垂询电话：021-54430662 传真：021-54707123　　更多液位计|进口液位计详细信息参考：http://www.ywkg.cn/

3月12日，由川仪自主设计制造的1E级磁浮子液位计模拟件鉴定试验顺利完成，这标志着由川仪股份牵头承担的国家科技重大专项“核电厂1E级磁浮子液位计国产化研制”课题研究成果即将进入应用阶段，表明我国已拥有CAP1400 1E级磁浮子液位计自主研制能力，打破国外厂商在技术和价格上的垄断，为加快我国核电装备自主化发展和中国核电“走出去”战略提供有力支撑。1E级磁浮子液位计包含堆芯补水箱用1E级磁浮子液位计(CMT液位计)及安全壳淹没用1E级磁浮子液位计(CFU液位计)。CMT液位计用于堆芯补水箱热态液位测量及报警、控制自动卸压系统(ADS)爆破阀开启以缓解LOCA事故、事故后堆芯补水箱内液位监测等功能；CFU液位计可提供事故后监测安全壳内水位，提供安全壳内水位指示及报警等功能。两款1E级磁浮子液位计均为CAP1400非能动堆芯冷却系统中重要测点的专用仪表，对核电站的安全运行起着至关重要的作用。是核电站安全运行的关键设备。全球各大核电强国背后，均有强大的设计研发能力及装备制造业作为支撑。与核电建设速度和规模相比，衡量一国核电实力和产业竞争力的更核心指标是自主化能力。如今，三代核电自主化成果“国和一号”，即CAP1400压水堆技术，将实现100%的设备国产化能力，在这背后是600余家单位、3.1万名技术人员，历时十几年科研攻关，可以说，“国和一号”集中了中国三代核电技术和产业创新之大成。此前，通过核电重大专项及引进技术AP1000项目中，1E级磁浮子液位计从前期采购到中期调试使用再到后期的维护，均由国外厂商垄断，导致产品成本居高不下高、供货周期长，不利于核电厂稳定运行。解决“卡脖子”问题，开发出功率更大、具有自主知识产权的CAP1400已迫在眉睫，核电厂1E级磁浮子液位计国产化研制也提上了议事日程。川仪股份始终心怀国之大者，坚持锻造川仪所长、服务国家所需，以“川仪造”助力我国重大装备自立自强。2018年，川仪股份联合上海核工程研究设计院有限公司(以下简称：上海核工院)承担国家科技重大专项“核电厂1E级磁浮子液位计国产化研制”课题。川仪股份作为课题责任单位，牵头组织、统筹制定项目整体方案与实施计划，并负责堆芯补水箱用1E级磁浮子液位计和安全壳淹没用1E级磁浮子液位计的设计、制造、鉴定工作；上海核工院作为课题联合单位，开展核电厂用1E级磁浮子液位计的功能需求及鉴定验证相关研究工作。该课题根据CAP1400堆芯补水箱用1E级磁浮子液位计和安全壳淹没用1E级磁浮子液位计的使用需求，提出两种1E级磁浮子液位计的研制和鉴定要求，历经四年产学研联合攻关，在鉴定方法的研究、浮子适应不同介质测量研究、密封性能研究、永磁材料的研究、使用寿命要求研究等关键核心技术上取得突破，先后攻克大型先进压水堆核电站中堆芯补水箱用1E级磁浮子液位计和安全壳淹没用1E级磁浮子液位在结构设计、制造工艺、精度测量、性能试验验证等方面的技术难题，完成堆芯补水箱用1E级磁浮子液位计和安全壳淹没用1E级磁浮子液位计的研制和鉴定。通过本课题研究工作的开展，全面掌握了CAP1400 1E级磁浮子液位计设计、制造和鉴定试验的核心技术，形成了一套CAP1400 1E级磁浮子液位计的设计制造流程、试验/验证方法、企业标准，满足CAP1400核电机组对1E级磁浮子液位计的抗震、耐高温、耐高压、耐辐照、高密封性、长寿命、快响应等应用要求，技术指标达到同类产品先进水平，将有力保障我国核电厂运行的安全性和可靠性。 核电厂1E级磁浮子液位计的研制成功，打破国外厂商在技术和价格上垄断，摆脱了对进口核电仪表的依赖，降低了核电站的设备成本，缩短了供货周期，后期维护稳定可靠，满足国内核电高质量发展要求，表明川仪股份具备了向CAP1400示范工程提供具有自主知识产权的民族品牌关键仪表设备的能力，为我国三代核电自主化成果“国和一号”实现全面国产化能力，加速我国核电站的海外出口贡献了力量。川仪股份勇担使命，以助力核电装备自主可控的实际行动践行“两个维护”。核电厂1E级磁浮子液位计的研制成功，是川仪股份坚持科技自立自强，持续对标赶超、攻坚克难的成果缩影，“川仪造”背后是对“中国制造”的坚守，承载了一代代川仪人产业报国的心血，也传递着“星星之火”的红色信仰。下一步，川仪股份将以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，认真学习贯彻党的二十大精神，心系“国之大者”，深入贯彻落实习近平总书记“四个面向”重要指示，心无旁骛聚焦主业，持续对标赶超、攻坚克难，在助力国民经济关键领域高端装备自主可控上体现更大担当！

近期，宁夏计质院新建的液位计检定装置通过自治区市场监管厅考核，取得《计量标准考核证书》。 　　液位计是物位仪表的一种，广泛应用于化工、食品加工、制药、电力、水处理等领域工业生产过程中罐、釜、塔、瓶、炉以及渠内部液位或界面的测量，其按测量原理可分为联通式、浮力式、压力式、反射式、电特性式等类型，具有调试方便、高精度、读数直观、可靠性好等特点。宁夏计质院通过新建该项检定装置，具备开展浮力式、压力式、反射式液位计的检校工作的能力，其浮力式液位计测量范围为(0～3000)mm，压力式液位计测量范围为(-100～200)kPa，反射式液位计测量范围为(0～50)m。 　　在工业生产过程中，准确监测和控制液位至关重要。宁夏计质院该项计量标准的新建，将为全区重点工业企业安全生产和高质量发展提供有力的技术支撑。

超声波液位计是一种非接触式的液位测量仪表，实际工作时由探头发射脉冲波，达到液位表面后返回被传感器接收，通过声波发射和接收的时间差来计算被测液位计的高度，因为是非接触测量，被测介质几乎不受限制，目前超声波液位计被广泛应用于各种固体物料和液体液位的测量；　　当前国内超声波液位计生产企业的数量众多，超声波液位计产业的发展也相对比较成熟，尤其是超声波液位计产品得到了很好的发展。我国超声波液位计产业发展势头正猛，但在产业形势一片大好的背景下，有些问题也是值得担忧的，尤其是国内超声波液位计生产企业主要以低层次、小规模、家庭作坊式企业为主。这对于我国超声波液位计产业未来发展是一个很大的限制和瓶颈。 近年来我国超声波液位计优越劣汰，推陈出新，是仪器产业健康发展的标志。尽管仪器仪表行业的整体水平有了很大程度的提高，但质量上仍然不够稳定，比如跑、冒、滴、漏现象在国产超声波液位计产业中经常出现。产品饱和相伴的是仪器仪表持续走高，超声波液位计走向是国际的影响。在当前的形势下，仪器仪表企业应及时对超声波液位计进行产品结构调整，控制投资规模，压缩非生产性开支，这无疑也是有积极意义的。 另外，我国超声波液位计产业与发达国家相比尚存在一定的差距。超声波液位计产业市场竞争日趋白热化，部分普通超声波液位计产品市场已经趋于饱和，出现供大于求的局面，这使得中小型企业发展越来越艰难。而即使是技术含量比较高的产品在国际市场中的竞争也十分的激烈。 我们的超声波液位计生产企业久战沙场，可谓历尽艰辛，自10年进世以来，在海外屡屡受挫，吃尽苦头，虽小有成绩，但依然无法摆脱&ldquo 消化不良&rdquo 、&ldquo 外不敌手&rdquo 的尴尬境地，关键题目是国际标准化战略。 一直以来国内的超声波液位计企业对自身的定位并不是很明确，盲目生产，缺少与主机企业之间产品配套的对接与合作。可以说国内尽大多数紧固件企业的产品都只是按照同一的标准批量生产，并不关心自身产品能否满足市场上主机产品的配套性，一味追求的是自身的出厂量，与国外仪器品牌产品相比，我们缺少的是&ldquo 专一&rdquo 的&ldquo 奉献精神&rdquo ，在仪器仪表行业发展中同样适用发展模式，可以是一对一，甚至一对多配套生产。 固然国内一些企业已经开始意识到了这一点，纷纷开发了新产品的规定，但这仅仅是前进过程中的一小步，超声波液位计国际标准有待在整个行业进行推广与完善在竞争如此残酷的今天，超声波液位计在市场独立的确不是件轻易的事情，更多是由于外部竞争的加剧和市场的变化所致。产品要在国内成功拓展，必须在发挥自己产品上风的基础上，加强营销治理体系的建设，提升营销执行力，才能使自己的优质产品为国内市场所接受。 当前中国在在超声波液位计市场中，高端超声波液位计的国产化之路就变得十分的艰难。当前基础件已经成为制约国内制造业向高端化发展的短板，十二五期间我国对高端装备零部件的国产化力度将进一步的加大。我国各子行业中的超声波液位计进口替代可行性差别十分大，高端超声波液位计产业亟待更多的政策引导及科研扶持，未来国内超声波液位计产业呈现良好的发展前景。

p/pp　　日前，西北油田采油二厂采油管理三区对加热炉玻璃管液位计法兰改造获得成功。改造后可调节法兰，在更换玻璃管液位计时，既方便快捷，又节约生产成本。/pp　　该采油管理区所管理的231口生产油井均为稠油井，需要安装加热炉加温输送原油。其加热炉玻璃管液位计是便于职工观察水位，及时补水，确保加热炉正常运行。然而，原来加热炉玻璃管液位计法兰均为固定法兰，不便于更换玻璃管液位计，工序繁多麻烦，还易把液位计损坏。尤其在冬季中，玻璃管液位计非常冻裂，更换频次增多。有时，如法兰固定螺丝锈蚀，又要动用电气焊切割，更换起来更费时费力，一次还要增加1000元至2000元的生产成本。/pp　　日前，该采油管理设备技术人员经过潜心研究，把法兰与加热炉结合部增加一个长度约3公分的内丝扣短接，将原来的固定法兰，改造为可以调节法兰。这样，在更换安装玻璃管液位计时可随意调节法兰，既方便快捷，又不会损坏液位计，还不用动用电气焊切割增加生产成本。截止目前，该采油管理区已在18台加热炉改用了这种可调节法兰。下步，全厂667台加热炉将全部推广应用。/ppbr//p

今日，德国科威尔中国办事处正式开通进口液位计、进口液位开关400全国销售热线：400-6021-188 ，021-54430662 仍然作为我公司总部的客服热线。　　德国科威尔原装进口液位开关、液位计产品质量可靠、性能稳定，1993年通过了ISO9001国际认证，1999年发明了热传温差技术并成功运用到流量检测领域并已成为行业标准。我公司液位计、液位开关性价比高，售后服务好，公司在中国区全国范围内建立40多个售后服务站点，专业的技术团队为您第一时间解决问题。 　　智能型超声波液位计优点：非接触测量、免维护、高精度、长寿命；先进的检测技术，丰富的软件功能适应各种复杂环境；自动功率调整、增益控制、温度补偿；光电隔离4-20mA电流输出；故障报警输出电流22mA；大电流双继电器上下限报警输出(可选)；LCD液晶显示窗，外形美观精致；灵活的支架、法兰安装(可选)；双通道多点液位测量。 　　文章来源：德国科威尔中国办事处 更多进口液位开关信息http://www.ywkg.cn

继上次“双十一”购物狂欢节科威尔推出特价优惠活动取得不错的成绩后，适逢2013年最后一个月，科威尔又推出了“双十二”特价活动，这将是科威尔在2013年的最后一次促销活动，欢迎广大客户来电咨询：全国统一服务热线：4006 021 188 电话：021-54430662　　参加本次促销活动的产品有：　　●导杆型液位开关LV系列　　●侧装式磁翻柱液位计LMS系列　　●机械式温度开关TK10系列　　●电磁流量计FE20系列　　●柱塞式流量开关FP53系列　　更多关于科威尔液位开关|液位计等促销信息：http://www.ywkg.cn

哈尔滨工业大学（深圳）马星教授联合中科院深圳先进技术研究院刘志远研究员，提出了一种通过将镓基液态金属转变为固态并通过塑性变形制备复杂3D结构柔性导体的方法。在本项研究中，由摩方精密25 μm精度的nanoArch P150设备3D打印的高精度模具，为制备2D应变传感电路和3D拱形跳线提供了精密支持。

2007年，费业泰被授予国际测量与仪器委员会“终身贡献奖” 神舟浴火腾飞升空，蛟龙耐寒深潜入海，高度精密的仪器在热胀冷缩时会产生什么变化?如何才能保证它们正常运转?我国高新技术领域的每一项重大突破，都离不开精密仪器学科的支撑。　　在我国精密仪器领域，很多知名专家自称“费家军”，因为他们有着共同的导师——我国现代精度理论及工程应用的奠基人、合肥工业大学教授费业泰。在把60年人生奉献给精密仪器事业后，今年2月26日，费业泰教授在合肥逝世，享年82岁。　　60年努力，奠基我国现代精度理论及工程应用　　“精度”与“误差”这对反义词，是人类科学研究中不可回避的问题。而费业泰一辈子的工作，正是不断消除误差，追求越来越高的精度。　　1955年，费业泰在合肥工业大学留校任教，同年6月加入中国共产党，1959年来到新开办的精密仪器专业。那时，新中国工业建设刚刚起步，我国对精度与误差的研究几近空白，机械工业总是难逃噪音大、震动大、能耗大的“傻大粗”模式。　　现在精度测量以微米为标准，而当时的标准是毫米甚至厘米，相差千倍、万倍，为了改变这一切，费业泰养成了没日没夜工作的习惯。由于精密仪器特别敏感，为了确保实验质量，多年来，费业泰在忙碌一天后，晚上仍会趁夜深人静继续待在实验室。　　经过长期的研究，费业泰提出了精度误差理论，半个多世纪来，这一理论在我国社会主义现代化建设的各个领域中得到了广泛应用，并成为我国精度评定的基本方法以及精密仪器学科的理论基础。　　航天器在太空中飞行，向阳与背阳的两面温度相差数百摄氏度，由于膨胀系数标准有误，用什么材料才能确保卫星正常使用，一直长期困扰我国航空业的发展。九十年代末，时任我国某型卫星研制部门负责同志找到了费业泰。　　在大量实验的基础上，费业泰发现原有的检测方法和计算标准存在较大误区，于是创新膨胀系数的检测和制定方法，不仅成功解决了精密仪器的稳定问题，还依此提出了全新的热误差理论体系。　　在我国精密机械领域，曾一度陷入加工设备每个部件都要高精度的误区。这不仅大大提高了成本，而效果也并不稳定。针对这一情况，费业泰在我国率先提出“最好的部件在一起不一定能有最好的性能”这一理念，找到了误差传递的规律，并利用这一规律提出了新的方法，不再要求每个部件均为高精度，而是通过不同部件之间的最优组合，保证机械设备的高精度。这一方法成为我国最新精度理论的重要内容。　　60年来，费业泰承担并完成了40余项高水平科研项目，发表过320余篇论文，获得9项省部级奖励，是安徽省五一劳动奖章获得者，为我国重点科研项目解决了大量实践难题，被称为我国精度理论的开拓者。2007年，费业泰被国际测量与仪器委员会(ICMI)授予终身贡献奖。　　2010年，费业泰入选“感动工大十大人物”　　潜心钻研，淡泊名利拒绝美国抛出的“橄榄枝”　　《误差理论与数据处理》是费业泰的9本专著之一，他的学生、合肥工业大学仪器科学与光电工程学院院长于连栋教授介绍，该书1981年被列为国家重点教材，成为我国精密仪器学科理论的开拓之作。30多年来，该书再版7次，被全国200余所高校采用，很多年轻一代的杰出青年、长江学者，都是读着它迈进了精密仪器科学的殿堂。　　“做科研不能带有一点功利心。”合肥工业大学仪器科学与光电工程学院苗恩铭教授至今牢记着费业泰的教导。　　其实热误差理论，费业泰早在1980年代就已经发现并进行总结，但很长一段时间内，热误差的研究一直是领域内的“冷门”，甚至其理论的科学性也受到质疑。　　如今苗恩铭率领的热误差研究团队，在全国已处于领头羊的位置，但最初这个研究之“冷”，曾让他想到放弃。　　“科研不能追名逐利，什么方向热门做什么，你在科学的路上走不远。”费业泰的一再告诫，让苗恩铭坚持了下来。如今，热误差理论，已经成为精密仪器学科典型的三个学科方向之一。而热误差理论研究团队，也不断在我国重大项目中建功立业。　　费业泰的老伴郭子顺还记得，1989年费业泰在美国西雅图华盛顿大学做客座教授时，他所负责的波音公司一项科研项目原计划要做9个月，但在他的努力下仅用时6个月。费业泰的出色表现引起了美国方面的兴趣，向他抛出橄榄枝，表示如果他愿意留下，就可以拿到绿卡。但费业泰毫不犹豫地拒绝了，甚至放弃了应得的3个月优厚报酬，毅然提前回国。　　虽然淡薄名利，但费业泰对国内相关产业的发展一直十分关注。　　“中国数控机床的落后，让老先生一直耿耿于怀。”苗恩铭说，费业泰在1980年代发现热误差后，研究了国际上近30年来数控机床精度的发展，预测未来机床如果要提高精度，必须利用其材料结构的热特性来设计。　　当时费业泰找了很多国内大型企业，建议企业进行相关研发提高产品精度，但当时普通数控机床很好卖，他的建议被一一拒绝。1990年代中期，费业泰受邀到日本作学术报告，他的理论引起现场日本、德国专家的注意，并特意向他请教。2005年，日本企业生产了第一台热亲和数控机床，现在这种机床已经成为全世界最著名的数控机床之一。　　“现在很多国内企业产品卖不出去，又去模仿，但只能模仿个外形，其实它的核心思想是我们这边出来的，但是当年国内却没有人相信。”苗恩铭说。　　2013年，80岁的费业泰仍坚持工作　　教书育人，言传身教关注每个学生前行　　为了保证人才培养质量，费业泰不但对学生因材施教，还始终坚持在科研一线，用自己的言行给学生们做好榜样。　　“费老师知道每个学生的特点，哪怕我们毕业了，他还会一直关注着。” 于连栋说，费老师去世后，有同学在微信群里晒出老师以前寄来的信，老人家对这位学生从专业方向到人生道路，都给出了言辞真切的建议，让人十分感动。　　费业泰一生严谨，今年48岁、早已是博士生导师的胡鹏浩教授回忆起恩师的严谨时说：“怕挨训、被训怕了，但总是被训得心服口服。”　　2003年的暑假期间，时任学院副院长的胡鹏浩去找费业泰汇报工作，因穿着随意让老师很不高兴。　　最初胡鹏浩不以为然，他觉得不是工作日，也不在正式场合，穿着随便一些无所谓，但老师的反问让他意识到自己的不足：“老师说，如果现在学院有急事，需要你立即送一份材料到教育主管部门，你觉得你现在的穿着合适吗?这就是费老师的做事风格。”　　“我参加工作后，学校安排我授课，但费老师坚持让我再等一年，用一年的时间备课。” 费业泰的学生、合肥工业大学仪器科学与光电工程学院副院长夏豪杰副教授说，费老师认为“照本宣科是没有质量的授课”，只有精心准备，才能真正传授给学生知识。　　除了专业知识和严谨的科研态度，费业泰带给学生的，还有做人的道理。　　2004年，胡鹏浩评上了教授，但费业泰却说其实不希望他这么早获评，随后老先生的一席话让胡鹏浩非常感动。　　“他说虽然我评上教授，但知识的宽度和广度沉淀不够，可能会碍于面子，到哪都端着架子，不懂的也不好意思问，时间一长，就会越来越空。”胡鹏浩说，从那时起，他不管到哪，遇到不懂的就会直接问，　　2011年夏天，77岁高龄的费业泰在北京进行完一项国家专项答辩后，急着赶回合肥，由于北京暴雨，等到23点仍然不能起飞，临时也买不到火车票。　　“下着大雨，他跑到火车站，没有票又回到机场，这么大年纪，我看着很心疼，就劝他住一晚明天再走，他却坚持要当天回去。”当时随行的夏豪杰说，当天老人家等到凌晨4点，才得到登机的通知。　　早上7点，费业泰带着一身疲惫抵达合肥，随后立即赶到办公室时，这时夏豪杰才发现，费业泰坚持赶回来的原因，只是答应给一位研究生修改论文。　　“费教授辛勤工作60年，精于专业，一心教书育人，忠诚于人民的教育事业，是一位有理想信念、有道德情操、有扎实知识、有仁爱之心的好老师。”合肥工业大学党委副书记周军说。　　2013年，80岁的费业泰仍坚持工作　　2013年，费业泰与学生们在桃李园合影

“中国制造 2025”发展战略对高端装备制造业的质量提出了更高要求。超精密测量对提升高端装备制造质量具有基础支撑作用，并在制造全过程中的质量控制发挥决定性作用；只有解决整体测量能力问题，才能从根本上解决高端装备制造质量问题。激光因其高方向性、高单色性、高相干性等特点，具有高准确度、非接触、稳定性好等独特优点，在超精密加工和测量领域应用广泛。目前，越来越多的激光精密测量系统已作为产品检测的重要环节融入高端装备制造生产线，并已成为大型装备制造业中质量保证的重要手段，包括激光干涉仪、激光跟踪仪等。激光干涉仪以光波为载体，利用激光作为长度基准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、精密运动测试与高端装备集成等场合；特别是基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程和数米每秒的测量速度等优点，是目前唯一能满足光刻机要求的位移测量系统。激光跟踪仪是一种大尺寸空间几何量精密测量仪器，具有测量功能多（三维坐标、尺寸、形状、位置、姿态、动态运动参数等）、测量精度高、测量速度快、量程大、可现场测量等特点，是大型高端装备制造的核心检测仪器。激光跟踪仪基于球坐标测量系进行测量，主要用于大尺寸坐标测量以及大型构件尺寸及形位误差测量，亦可对运动部件进行动态跟踪测量。为帮助用户更好地了解激光精密测量技术及其在高端制造中的应用，仪器信息网将于2022年10月20-21日举办首届“精密测量与先进制造”主题网络研讨会，特邀中国科学院微电子研究所主任周维虎、清华大学教授张书练、哈尔滨工业大学长聘教授胡鹏程、中国计量科学研究院副研究员崔建军分享主题报告。 点击图片直达报名页面中国科学院微电子研究所主任/研究员 周维虎《激光跟踪仪精密测量技术与应用》（点击报名）周维虎研究员长期从事精密光电测量技术与仪器研究，主持科技部重大仪器专项、国家重点研发计划、自然基金重大仪器专项、国防科工局重点预研、装备发展部军用测试仪器、中科院仪器装备项目等50余项精密测量与仪器类课题，获得中国机械工业科学技术发明特等奖、中国计量测试学会技术发明一等奖等7项省部级奖励，发表论文近200篇，申请专利近50项，编写教材1部，起草国家计量检定规程和规范4部，获得国务院特殊津贴、中科院朱李月华优秀教师奖、江苏省双创领军人才、青岛市创新领军人才等称号。成功研发国际上首台飞秒激光跟踪仪、国内首台三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪，打破了国外在激光跟踪测量领域的技术垄断。担任中国科学院大学岗位教授、博士生导师，北京航空航天大学、华中科技大学、大连理工大学、吉林大学、合肥工业大学等十余所高校兼职教授和博士生导师，南京航空航天大学特聘教授，湖北工业大学楚天学者教授。担任《计测技术》、《测控技术》、《中国测试》和《光电子》期刊编委，《Optical Engineering》、《中国航空学报（中、英文）》等十余份国内外期刊审稿人。报告摘要：激光跟踪仪用于超大尺寸空间几何量测量，具有测量速度快、精度高、范围大，可现场测量等特点。在航空航天、船舶、雷达、高铁、能源设备、汽车、大科学装置等大型装备制造领域具有广泛应用，本报告重点介绍激光跟踪仪研发技术及相关领域中应用。清华大学教授 张书练《激光回馈精密测量技术新进展》（点击报名）张书练，清华大学教授，博士生导师。激光和精密测量专家，偏振正交激光器纳米测量技术的国内创建人和国际主要创建人。曾任清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室主任，现任广东省计量院重点实验室学术委员会主任。作为第一完成人，获国家技术发明二等奖两项，教育部自然科学一等奖两项，电子学会发明一等奖一项等十余次奖项。在ISMTII-2017国际学术会议上被授终身贡献奖。出版专著：唯一作者3部，第一作者1部，主编国际会议专题文集2部，计测技术“教授论精密测量”一期，发表论文360余篇，发明专利权80余项。发明的双折射-双频激光器及干涉仪等纳米测量仪器已经批产。哈尔滨工业大学长聘教授 胡鹏程《超精密激光干涉位移测量技术进展与挑战》（点击报名）胡鹏程，哈工大长聘教授、博导，精密仪器工程研究院副院长，2019年入选国家高层次青年人才计划。校内兼职：第二届校学术委员会，委员；超精密仪器技术及智能化工信部重点实验室，副主任；超精密光电仪器工程研究所，常务副所长。校外兼职：中国计量测试学会，第八届计量仪器专业委员会，副主任委员；IEEE Senior Member；中国电子学会、中国光学工程学会，高级会员；中国仪器仪表学会传感器分会，理事；教育部学位与研究生教育发展中心，中国高校创新创业教育研究中心，评审专家；《光学精密工程》编委，《哈尔滨工业大学学报》青年编委，《红外与激光工程》青年编委；国家重点研发计划引力波探测重点项目，咨询专家组，成员；ISPEMI 2018, Secretary General；IFMI&ISPEMI 2020，Cochair of organizing committee，IFMI&ISPEMI 2022，Cochair of organizing committee 学术研究：围绕超精密激光测量与光电仪器方向，从事基础研究、关键技术突破和仪器研制测试。承担国家科技重大专项课题、技术基础项目、国家重大工程项目、国家自然科学基金国际合作研究项目、国家自然科学基金重大研究计划课题、国家自然科学基金面上项目等，项目经费1.2亿余元；发表SCI检索论文60篇，出版编著1部，申请/授权国内外发明专利152项。 科研成果奖励：中国计量测试学会科学技术进步奖，一等奖(第1完成人，基础类，2021年)；国家技术发明奖，二等奖（第5完成人，2013年）等。报告摘要：甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器是高端装备发展与前沿研究的重大核心基础技术，作为光刻机等高端装备中不可替代的核心单元，其直接决定了装备所能达到的极限运动精度与整体性能；作为溯源精度最高的长度计量测试仪器，其准确统一全国相关量值，支撑国际单位制量子化变革等前沿研究。随着高端装备发展与前沿研究的迅猛发展，其甚多轴、高速、超精密测量需求越加显著，使激光干涉测量技术发展不断面临新的挑战。为此，开展了甚多轴高速超精密激光干涉测量技术研究，突破了激光稳频、多轴干涉镜组、干涉信号处理等多项关键技术，研制成功系列超精密激光干涉测量仪器，测量速度优于5m/s，动态测量分辨力0.077nm，光学非线性误差优于0.02nm，并在微电子光刻机、国家基准装置、德国PTB超测量装备等成功应用，为我国高端装备发展与前沿研究奠定重大共性技术基础。中国计量科学研究院课题组长/副研究员 崔建军《差分珐珀激光干涉微位移计量及应用研究》（点击报名）崔建军副研究员长期从事精密几何量测量技术及计量标准研究，主持和参加科技部重大仪器专项、国家重点研发计划、国家及北京市自然科学基金项目、国家市场监管总局项目等30余项精密测量与几何量计量研究项目，获得浙江省科学技术进步二等奖、国家质检总局科技兴检二等奖、中国计量测试学会科学技术进步三等奖等多项省部级奖励，发表论文近40余篇，申请专利近30项，软件著作权20余项，正在负责及参加起草的国家计量检定规程规范10余项。主持建立新一代双频激光干涉仪计量标准装置、激光测微仪、光栅式测微仪校准装置、纳米薄膜厚度计量标准装置等多项国家量值最高的计量标准装置。提出了双频差分法布里珀罗激光干涉技术原理，研制了准确度达到数十皮米的微位移及干涉仪非线性计量装置。担任担任全国半导体器件、全国光学和光子学光纤传感、全国试验机等3个标准化技术委员会委员，担任中国机器人检测认证联盟技术委员会分工作专家组专家，国家计量标准的一级考评员和一级注册计量师，中国计量科学研究院研究生导师，南方科技大学、河南理工大学等多所高校兼职研究生导师，担任《计量学报》、《计量科学与技术》、《中国计量》、《中国激光》，《光学学报》、《sensor review》《measurement》、等十余份国内外期刊审稿人。报告摘要：微位移测量是高端装备核心零部件设计和先进制造急需的应用基础技术，也是几何量计量、微纳制造和光刻技术等发展所急需的关键技术。报告针对当前急需的纳米及亚纳米精度的激光干涉仪、亚纳米电容测微仪和纳米位移传感器等难以计量的现状，创造性提出采用固定频差双频激光建立差分珐珀干涉系统的光学理论，并研究基于该理论构建精度达到数十皮米甚至更高量级的位移测量技术实现方法，研制实现皮米级分辨力的高精度位移测量装置，推动国家精密测量、先进制造等领域的高质量发展，也为建立皮米级国家最高微位移计量标准装置提供技术方法。扫码报名抢位指导单位：中国计量测试学会主办单位：仪器信息网协办单位：上海大学会议日程报告时间报告主题报告人单位职务10月20日上午09:30-10:00工业视觉技术进展及装备应用邾继贵天津大学精密仪器及光电子工程学院院长10:00-10:30激光跟踪仪精密测量技术与应用周维虎中国科学院微电子研究所主任/研究员10:30-11:00激光回馈精密测量技术新进展张书练清华大学教授11:00-11:30待定胡鹏程哈尔滨工业大学长聘教授10月20日下午14:00-14:3020年来齿轮测量技术的发展石照耀北京工业大学长江学者特聘教授14:30-15:00基于波长移相技术的光学平行平板轮廓和厚度信息测量技术于瀛洁上海大学机电工程与自动化学院院长15:00-15:30视觉在线测量与检测技术卢荣胜合肥工业大学教授15:30-16:00面向智能制造的全过程、全样本、全场景测量李明上海大学教授10月21日上午09:00-09:30工业摄影测量技术研究及应用郑顺义武汉大学教授09:30-10:00装备空间运动误差被动跟踪测量方法与仪器娄志峰大连理工大学副教授10:00-10:30差分珐珀激光干涉微位移计量及应用研究崔建军中国计量科学研究院课题组长/副研究员10:30-11:00面向先进制造过程的在线计量技术研究赵子越中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所高级工程师

专精特新“小巨人”是国家工信部为贯彻落实习近平总书记关于培育一批专精特新中小企业、提升中小企业创新能力的重要指示精神，在“十四五”促进企业做精做强做大而制定的优质中小企业培育体系。鼓励中小企业实现专业化运营、精细化产出、特色化工艺和新颖化产品四方面发展而专门设立的荣誉奖项，旨在培育出一批专注于细分市场、创新能力强、市场占有率高、掌握关键核心技术、质量效益优的“排头兵”企业，助力实体经济特别是制造业做实做强做优，提升产业链供应链稳定性和竞争力。天津三英精密自成立以来，以国际化科技创新为引领，致力于打造高端CT国际化品牌。聚焦X射线CT检测装备研发和制造的同时，专注为多领域的科研及生产制造提供先进数字解决方案。公司创始人须颖博士拥有二十多年海外高科技公司履历，为将国外先进技术在国内实现产业化生产持续努力。承担科技部十二五首批重大仪器专项，带队研发了高分辨X射线三维CT产品。持续技术创新是一个系统工程。三英精密秉承“技术创新、精心制造”的理念，设立博士后工作站，并先后与清华大学、天津大学、中科院和中国航天等知名科研机构成为战略合作伙伴，建立联合研发基地。执着于探索物质数据化密码，三英精密的产品研发与时代发展同频，十几年来坚持走高端产品路线，三英精密业已成为国际国内工业CT产品技术指标领先、产品线齐全的企业。产品涵盖X射线三维显微镜、显微CT、工业CT、计量CT、平面CT、卧式CT、X射线在线检测设备和移动车载CT检测中心等；重点服务于航空航天、汽车、新能源、新材料、半导体、国防工业、石油地质、岩土工程、生命科学等领域。未来，三英精密将紧跟趋势顺势而为，充分利用先进科学技术和平台赋能，以科技创新实力进阶，向创新创造型、智能研制型企业加速迈进，引领精密仪器数字化变革。

时代在发展技术在进步20世纪60年代第一台红宝石激光器诞生制造业进入“光”时代从纳秒、皮秒到飞秒人们对激光技术的探索未曾止步 时间换算：1秒=109纳秒=1012皮秒=1015飞秒时间越短，激光作用在材料表面的时间越短，对材料表面的影响越小，加工效果也更好，因此超快激光技术已成为制造业精密加工领域的热点话题。 在精密加工领域，传统纳秒激光加工设备仍占据了大部分市场。但是就加工效果而言，飞秒及皮秒激光加工更具优势与前景，可飞秒激光器由于自身的可靠性低、价格昂贵等原因，从科研到工业应用，还需一段时间。与纳秒激光相比较，皮秒激光加工具有更短的脉冲宽度、更高的峰值功率，能够达到更好更精细的加工效果，实现真正冷加工，基本无炭化，逐步成为主流选择。 ▲正业激光切割效果图（皮秒VS纳秒） 正业皮秒激光切割机 正业科技研发生产的皮秒激光切割机应用超快激光技术，适用于覆盖膜（CVL）、柔性板（FPC）、软硬结合板（RF）和薄多层板的切割成形。 01切割实例 02独特优势 1、真正冷加工，基本无炭化：激光脉宽小于10ps，炭化范围极小，基本看不到炭化现象。 2、切割效果更精细：采用小单脉冲能量，高频加工，精雕细作，加工面更加精细光滑，综合加工精度高达±20μm。 3、双台面，零上下料时间，效率高，速度更快：皮秒的重复频率非常高，可达兆赫兹，大幅度提升加工效率。 4、加工前预览功能：避免切板报废。 正业激光 正业科技在PCB行业历经22载，始终认为技术创新才是企业的立足之本，是企业长久生存和可持续发展的不竭动力，不断攻克激光技术难题，探索超快激光技术奥秘。 目前，正业科技承担的激光类国家重点计划项目有典型硬脆构件的超快激光精密智造技术及装备、激光高性能连接技术与装备和激光高精度快速复合制造工艺与装备。 未来，正业科技将不断增强核心竞争力，积极拓展激光技术应用产业链，满足市场及广大客户需求，通过做强“激光”助力制造业转型升级发展。

超精密机床基础部件与应用技术的突破，能为制造业的生存和发展提供强大技术支撑。然而此前我国的超精密机床及关键基础部件主要依赖进口。轴类零件外圆圆度加工方面，国内外基本是靠超精密的外圆磨床实现。以磨削直径100毫米、长300毫米的轴芯为例，我国的外圆磨床大概能够磨到1至2微米的水平，而国外可达到0.3至0.5微米的水平。为破解机床和关键部件“卡脖子”技术难题，国防科技大学教授戴一帆科研团队历时5年，提出轴类零件外圆圆度确定性修形加工工艺技术，使轴芯加工圆度精度提升到0.1微米，并成功研制出超精密空气静压主轴，近日经中国计量科学研究院测试，该静压主轴相关参数达到国际先进水平，这将使我国超精密加工精度有效提升。像铁锹整地那样研磨超精密零件我国超精密机床及关键基础部件此前主要依赖进口，最大的技术难题在于缺少加工核心零件的“工作母机”。所谓“工作母机”，就是制造机器和机械的机器，又称工具机，包括车床、磨床、刨床、钻床等，是制器之器、工业自强之基。一般的机械加工是将机床精度“复印”到零件的过程，也就是说，没有精度高的机床就加工不出精度高的零件。没有精度高的零件，也就组装不出精度高的部件和机床。没有制造高精度零件的工作母机，就限制了整个超精密机床行业的发展。戴一帆科研团队长期从事现代光学制造技术研发，他们发现光学零件的最终制造精度远超出所使用的加工设备精度，而光学制造的基本原理是逐步将误差高点去除的一种精度进化加工原理，团队尝试将这种“精度进化”原理的加工方法用于机械零件高精度加工，最终通过加工原理的创新提出轴类零件外圆圆度确定性修形工艺技术，突破高精度“工作母机”的限制。芯轴多传感器在位测量。国防科技大学 供图确定性修形工艺是如何工作的？“好比使用铁锹平整一块地，就是将看上去凹凸不平的地方铲去适量的土，如此反复直到获得非常平整的地。”戴一帆说，这个过程依靠的是成套数字化设备，比如采用了高精度圆度仪获取圆柱形貌；发明了专用的控时磨削机床实现材料去除量的数字化精确可控；采用专用计算机程序计算获得磨削工具需要在特定空间位置停留的精确时间。机械取代有经验的工人师傅借助新工艺，戴一帆科研团队突破了基于精度进化原理的控时磨削加工技术，形成了圆柱类零件在位加工检测一体工艺方法，成功研制出超精密空气静压主轴。中国计量科学研究院测试结果显示，该空气静压主轴径向跳动小于15纳米、端面跳动小于15纳米。这个跳幅相当于头发丝直径的六千分之一。如果是地球这么大一根主轴的话，回转运动造成的振幅不会超过1米。测试结果还显示，空气静压主轴径向静刚度大于200N/μm、轴向静刚度大于200N/μm。通俗地说，就是主轴可以在20公斤的重力载荷下纹丝不动，变形量不会超过1微米，即头发丝直径的百分之一。对比代表美国超精密领域最高水平Precitech公司的产品手册，上述技术指标与其相当甚至更高。当前，国内外可将轴类零件外圆圆度加工研磨到零点几微米的水平，如果再要提升只能靠手工研磨修整。“我们的新技术可以摆脱对极其有经验人工师傅的依赖，能很容易地按照现代工业化的模式组织生产，促进超精密基础部件的大批量、高效率生产和应用。”戴一帆表示，超精密机床基础部件与应用技术的突破，将为制造业的生存和发展提供强大技术支撑，完善高端机床产业链配套，大幅增强高性能功能部件竞争力，促进高端精密与超精密机床方面实现国产化。他补充说，这些突破还将有效解决探测制导关键零部件超精密加工面临的超精密装备和核心工艺难题，进一步助力国防领域高端核心零件超精密加工批量化生产，实现科研成果向生产力和战斗力的快速转化。系列成果获得了湖南省十大技术攻关等项目的支持。相关成果先后发表于Materials、Micromachines等期刊上，戴一帆为通讯作者。为支撑超精密加工，促进精密测量技术发展和应用，助力制造业高质量发展，仪器信息网联合哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院，将于2023年12月14-15日举办第二届精密测量技术与先进制造网络会议，邀请业内资深专家及仪器企业技术专家分享主题报告，就制造中的精密测量技术等进行深入的交流探讨。点击图片直达会议页面

“专精特新”小巨人企业中图仪器对资本市场发起冲刺。　　公开信息显示，10月21日，深圳市中图仪器股份有限公司（简称“中图仪器”）与中信建投（601066）签署上市辅导协议。成立于2005年的中图仪器致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。去年国家工业和信息化部公示了第三批专精特新“小巨人”企业名单，中图仪器顺利入选。　　自2005年成立以来，中图仪器逐步聚集了来自清华、西安交大、哈工大等高校毕业生带头的工程师队伍，从小仪器到大品种，持续推动国内精密测量技术创新与进步。　　中图仪器重点发展高端精密、超精密几何量检测仪器，提供一维、二维、三维的尺寸测量产品。中图仪器在精密轮廓扫描技术、精密测量传感器、激光干涉测量、微纳米运动设计、显微三维形貌重建、大尺寸三维空间测量、智能机器视觉测量、精密光栅导轨测控等众多技术领域形成了独特的研发设计、制造优势，已具备从纳米到百米为用户提供专业的精密测量仪器和测量解决方案的能力，大部分产品达到国际先进水平。　　目前，中图仪器的产品已广泛应用于计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业，部分产品达到国际先进水平，参与制定了多项国家标准。　　中图仪器在深圳市南山区智园科技园拥有现代化的办公场地，在深圳市宝安区创新新世界产业园拥有仪器设备精密加工、装配检测的专业生产制造基地。发展至今，中图仪器的销售和服务网点遍及三十多个省、市、自治区，海外市场快速成长，营销网络日逐完善。　　公开报道显示，多年来中图仪器的研发投入占销售额的25%以上，高于行业10%的平均水平。截至2021年10月31日，公司已拥有99项专利及软件著作权，参与制定3项ISO标准，主导或参与制定10余项国内或行业标准。　　辅导文件显示，马俊杰为中图仪器控股股东，直接及间接持有公司股权比例为36.28%。企查查显示，中图仪器自2016年起经历多轮融资，参投机构包括壹海汇资本、方广资本、架桥资本、海量资本和深创投等。　　据了解，在我国高端几何量仪器领域被蔡司、海克斯康、三丰、ZYGO等国际著名品牌全面占据的情况下，中图仪器研制的闪测仪、激光跟踪仪、激光干涉仪、光学3D表面轮廓仪、测长机等多款精密测量仪器逐步达到进口仪器性能水平，以较低成本较高性能服务于我国计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业领域，推动行业国产替代，同时市场占有率攀升。

AutoScan Inspec全自动桌面三维检测系统自上市以来，专注于小尺寸精密工件的三维扫描仪应用，在塑料零部件、叶轮叶片、小尺寸铸件等的批量化三维检测、逆向设计等应用场景中发挥着重要作用。 本期，小编采访了一位AutoScan Inspec用户，了解其实际应用过程及使用体验。 Q 您和AutoScan Inspec是怎么结缘的？ 答 这个说来也非常巧，我看到我的同行在用这个设备，看到其工作效率得到了提升，就也赶紧买了一台。 Q 请您谈一谈引入AutoScan Inspec 后，您的工作流程带来了什么变化？ 答 总体来说，效率大幅提升。这款设备精度高，效率高，我们的叶轮检测从4-5小时缩短至4分钟。 我们是做叶轮的CNC加工的，加工之后，我们要进行检测，特别是叶型和同心圆，看看产品是否合格，要是不合格要进行CNC加工的调整。 我们之前是用三坐标来检测，三坐标检测结果是很可靠，但是就是在检测这种异形曲面的时候，很慢。我们检测一个直径10公分的叶轮，大概要4-5个小时，这个等待的时间有点长。 现在用三维扫描的话，首先，精度满足要求，另外，效率真的很快，扫描检测的话，动作快一点，几分钟就好了。那对我们来说，这个检测的等待时间缩短了，肯定是一个很大的好处。 -叶轮三维数据图- -叶轮三维检测截图- 客户的满意，是对于AutoScan Inspec的最好的评价，在检测精密叶轮这种小型精密零件的过程中，AutoScan Inspec具有独特的优势——效率极高。 接下来，小编就为大家揭秘下，AutoScan Inspec如何做到如此高效？ 首先，让我们通过视频来了解下AutoScan Inspec检测叶轮的完整流程。 - AutoScan Inspec高效秘诀 - 1 三维扫描快、准、全，非接触测量，完美获取叶轮的完整三维数据。 解 析 快：一体式机身搭载三轴设计，可实现全自动扫描，扫描快速。 准：AutoScan Inspec采用高性能硬件搭配强劲的3D视觉算法，最高精度≤10μm，且重复精度稳定，保证数据质量，避免返工。 全：自动化扫描配合AI智能补扫算法，智能规划补扫路径，确保扫描数据的完整，为接下来的尺寸检测、CNC加工路径的优化提供可靠的数据支持。 - 五金件扫描示例 -2 数据处理人性化，提升数据处理的时间。 解 析 AutoScan Inspec的软件不断更新升级，使得数据处理越来越便捷、高效，从而提升整体的三维检测效率。 3 检测软件无缝对接 解 析 AutoScan Inspec扫描完成后，扫描软件与Geomagic Control X、Geomagic Design X 等检测和逆向软件无缝对接，无需软件之间的切换，提升整体效率。 ❖ 从“三维扫描-扫描数据处理-检测软件对接”，每一个环节，AutoScan Inspec的设计都围绕“高效”而展开，使得AutoScan Inspec能够高效完成批量化的精密零件检测任务，是精密零件加工企业的尺寸检测重要助手。

德国“工业4.0”与”中国制造2025“发展战略，对高端装备中的超精密测量精度要求越来越高。激光因其高方向性、高单色性、高相干性等特点，具有高准确度、非接触、稳定性好等独特优点，在超精密加工和测量领域应用广泛。激光干涉仪以光波为载体，利用激光作为长度基准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器。激光束通过分光镜后，分成两束激光（参考光束和测量），分别经两个角锥反射镜反射后平行于出射光返回，通过分光镜后进行叠加（两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件），产生相长或相消。反射镜每移动半个激光波长，将产生一次完整的明暗干涉现象，通过接收到的明暗条纹变化及电子细分，即可求得距离变化（距离=干涉条纹数*激光半波长）。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作。激光干涉仪原理构造激光测距仪是利用激光对目标的距离进行准确测定的仪器，根据测量原理分为脉冲法和相位法。脉冲激光测距法由于激光发散角小，激光脉冲持续时间极短，瞬时功率极大可达兆瓦以上，可以达到极远的测程，广泛应用在地形地貌测量、地质勘探、工程施工测量、飞行器高度测量、人造地球卫星相关测距、天体之间距离测量等方面。第二届精密测量技术与先进制造网络会议期间，清华大学与哈尔滨工业大学两位专家将分享激光精密测量技术、仪器及应用。部分报告预告如下，点击报名  》》》清华大学精密仪器系系副主任/副教授 谈宜东《激光干涉精密测量技术、仪器及应用》（点击报名）谈宜东，清华大学精密仪器系长聘副教授，博士生导师，副系主任；基金委优秀青年科学基金获得者，英国皇家学会牛顿高级学者，教育部创新团队负责人。中国电子信息行业联合会光电产业委员会副会长、中国仪器仪表学会机械量测试仪器分会常务理事。主要从事激光技术和精密测量应用等方面的研究工作。作为负责人承担国家自然科学基金，装发和科工局测试仪器领域关键技术攻关项目，科技部重点研发计划课题，军科委基础加强，重大科学仪器专项等多个项目。在Nature Communications, PhotoniX, Optica, Bioelectronics and Biosensors, IEEE Transactions on Industrial Electronics等期刊发表SCI论文100余篇，授权发明专利37项，在国际会议Keynote/Plenary/Invited报告60余次。先后获日内瓦国际发明展金奖，中国激光杂志社主编推荐奖，中国光学工程学会技术发明一等奖，中国电子学会技术发明一、二等奖多项。【报告摘要】 以传统激光干涉为引，介绍清华大学激光精密测量及应用团队在双频激光器、干涉仪及在光刻机中的精密测量应用，并拓展到空间引力波测量。针对传统干涉测量需要配合靶镜的局限性，提出激光回馈测量原理，实现了无靶镜纳米测量，攻克了航空航天、先进制造和国防安全领域的无靶镜测量难题，并开展了多种应用研究，包括：位移测量、激光侦听、高精度激光测距及雷达技术等。哈尔滨工业大学副研究员 杨睿韬《短脉冲光频梳激光测距技术》（点击报名）杨睿韬，哈尔滨工业大学副研究员，博士生导师。研究方向为超精密激光干涉测量，重点攻关短脉冲/光频梳生成与稳频、光梳激光测距等关键技术，承担国家重点研发计划课题/子课题、国自然面上等项目，参与国家科技重大专项、欧盟计量联合研究计划等项目。获中国计量测试学会科技进步一等奖(序4/6)、全国优秀博士学位论文提名等奖项。担任国际SCI期刊Photonics客座编辑。发表学术论文20余篇，申请发明专利10余项，出版专著1部。指导哈工大优秀本科/硕士毕业论文共5人，指导大学生光电设计竞赛国赛一等奖等2项。【报告摘要】 激光测距技术是大范围、高精度空间几何量测量的核心技术基础。短脉冲光频梳的诞生极大的推动了该技术领域的发展，其独特的时域短脉冲序列、频域等间隔梳状多光谱特征，不仅大幅提高了经典的飞行时间、调制波测相、多波长干涉等测距方法的性能，更引领了一系列新型激光测距方法的发展。本报告分析了短脉冲光频梳激光测距方法及趋势，介绍了项目组在短脉冲光频梳激光测距领域的最新进展。更多详细日程如下：第二届精密测量与先进制造主题网络研讨会报告时间报告题目报告嘉宾单位职称12月14日上午09:00-09:30纳米级微区形态性能参数激光差动共焦多谱联用测量技术及仪器赵维谦北京理工大学 光电学院院长09:30-10:00扫描白光干涉表面形貌测量技术：原理及应用苏榕中国科学院上海光学精密机械研究所研究员10:00-10:30先进封装工艺中三维几何尺寸监控的挑战与布鲁克白光干涉技术的计量解决方案黄鹤布鲁克（北京）科技有限公司应用经理10:30-11:00激光干涉精密测量技术、仪器及应用谈宜东清华大学 精密仪器系系副主任/副教授11:00-11:30关节类坐标测量技术于连栋中国石油大学（华东）教授12月14日下午14:00-14:30基于相位辅助的复杂属性表面全场三维测量技术张宗华河北工业大学教授14:30-15:00短脉冲光频梳激光测距技术杨睿韬哈尔滨工业大学副研究员15:00-15:30机器人精密减速器及关节测试技术程慧明北京工业大学 博士研究生15:30-16:00纳米尺度精密计量技术与国家量值体系施玉书中国计量科学研究院纳米计量研究室主任/副研究员16:00-16:30尺寸测量，从检验走向控制与孪生李明上海大学教授为促进精密测量技术发展和应用，助力制造业高质量发展，仪器信息网联合哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院，将于2023年12月14日举办第二届精密测量技术与先进制造网络会议，邀请业内资深专家及仪器企业技术专家分享主题报告，就制造中的精密测量技术等进行深入的交流探讨。报名页面：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/precisionmes2023/

很多人都做过CT检查，但您知道“工业CT”吗？在高精尖领域，很多精密部件都需要这类仪器来检测内部质量。要做这类产品的“把关人”可并不容易，安徽一家做特种电源的专精特新企业解决了这一难题，一起来看一看他们的绝活。放好检测物品后，工作人员将沉重的铅门关好，迅速撤离以避免遭遇辐射。铅门背后就是释放辐射的主角——微焦点X射线源，它被称为“工业CT”，可以对新能源汽车、芯片、半导体等领域的精密部件进行无损扫描，检测其内部是否有缺陷。合肥博雷电气有限公司副总经理 高龙：X射线可以实现电池内部所有的缺陷检测，确保动力电池装上车时零缺陷。由于技术受制于人，一段时间以来，国内相关设备的检测精度约为五微米，但对于芯片、半导体等精密制造行业，如果小于五微米的瑕疵没被发现，就会影响产品的性能和质量。市场的号角已经吹响，合肥博雷电气有限公司董事长刘凯带领企业加快研发速度。就在上个月，他们成功研制出国内第一台160千伏的微焦点X射线源，将检测精度缩小到了两微米。合肥博雷电气有限公司董事长 刘凯：特别是在芯片领域，两微米以下的缺陷检测能大大提高芯片生产的成品率。从五微米到两微米，技术突破的关键之一，在于使高电压输出稳定的微焦点X射线。由企业自主研发的变压器解决了这一难题。但这种变压器的生产并不容易，即使在工业自动化普及的当下，其绕线工艺也只能由手工完成。合肥博雷电气有限公司总工程师 印长豹：必须通过手工才能控制最关键的一些参数，一毫米的误差可能会导致整个产品失效。经过精确的缠绕，他们的变压器电压最高可达到350千伏，相当于城市居民用电的一千多倍。本期专精特新绝活：做好“把关人”，守好品质门。突破封锁勇争锋，潜心修炼匠人心；跨越高压电源技术坎 ，焕发精密制造生命力。

近期，天津市工业和信息化局公布了2022年第29批天津市企业技术中心认定名单，含天津三英精密在内的46家企业顺利通过认定。企业技术中心是由市工业和信息化局主导发起的为深入实施创新驱动发展战略，充分发挥企业技术中心在建立以企业为主体、市场为导向、产学研深度融合的技术创新体系而开展的认定评审。天津三英精密品牌始于2013年，作为国际上少数几家掌握微纳米级三维显微透视成像检测技术的企业，公司定位于聚焦X射线三维成像检测装备研发和制造，专注为多领域的科研及高端制造提供科学完善的数字解决方案。自成立以来，三英精密积极拓展技术创新体系，重点发展自主核心技术的研发，拥有博士后工作站及数十家国内外知名科研院企联合建立的研发基地，共同开展科研合作、分享创新成果，增强成果转化能力。同时，以适配市场需求为导向，公司丰富自身多系列产品线，基本覆盖X射线CT全品类产品，无论是应用于科学研发还是为工业生产的智能制造提供可靠的解决方案，均可以满足。目前，三英精密已成为国际国内工业CT产品技术指标领先、产品线齐全的高新技术企业。三英精密此次获认定标志着公司在研发创新体系、技术制造的整体实力迈入新台阶，为企业继续保持核心竞争力创造了良好条件。未来，公司将持续加强公司自主技术创新能力以及科技成果转化能力，为企业持续、健康、快速发展提供强有力的技术支撑！

中外运空运发展股份有限公司与佳晟(上海)精密仪器设备服务有限公司共同投资设立合资企业的公告　　本公司及董事会全体成员(在此发表异议声明的除外)保证信息披露的内容真实、准确、完整，没有虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。　　重要提示：　　1、投资标的名称：投资成立合资公司　　2、投资金额：拟投资设立的合资公司注册资本为人民币5000万元，公司出资人民币2500万元，占注册资本的50%。　　3、投资期限：20年　　一、对外投资概述　　中外运空运发展股份有限公司董事会于2010年4月12日以书面方式向全体董事发出于2010年4月22日在北京市顺义区北京天竺空港工业区A区天柱路20号外运发展物流园办公楼5层会议室召开第四届董事会第十四次会议的通知。本次董事会如期举行，应参加表决董事8人，实际参加表决董事8人。董事虞健民先生因另有公务未能亲自出席本次会议，书面委托董事郭盛先生代为出席并表决，独立董事王建新先生未能亲自出席本次会议，书面委托独立董事崔忠付先生代为出席并表决，会议由董事长张建卫先生主持。公司监事会成员列席了会议，并对会议的通知、召集、召开、表决的程序以及会议内容、表决结果的真实性、合法性进行了监督，会议符合《公司法》及《公司章程》的有关规定。会议审议通过了《关于与佳晟(上海)精密仪器设备服务有限公司共同投资设立合资企业的议案》，同意公司与佳晟(上海)精密仪器设备服务有限公司共同投资人民币5000万元设立合资企业，从事各种精密机械设备的特殊拆卸、包装、移动、安装服务及综合运输服务业务。本公司使用自有资金出资人民币2500万元，占合资企业注册资本的50%。授权公司总经理负责签署相关文件并处理后续事宜。表决票8票，赞成票8票，反对票0票，弃权票0票。　　公司独立董事在董事会召开之前对该事项进行了了解，并在本次董事会上投了赞成票。本次对外投资不需经公司股东大会审议。　　本次投资不构成关联交易。　　二、投资协议主体的基本情况　　中外运空运发展股份有限公司(以下简称"本公司")成立于1999年10月11日，是经国家经贸委国经贸企改[1999]939号文批准，由中国对外贸易运输(集团)总公司作为主要发起人，联合中国机械进出口(集团)有限公司等企业，以发起设立方式设立的股份有限公司。本公司注册资本为人民币90，548.172万元。本公司属于物流运输行业，具体涉及国际货运代理业、航空快递业和国内物流综合服务。公司注册地址：北京市顺义区天竺空港工业区A区天柱路20号。法定代表人：张建卫。　　佳晟(上海)精密仪器设备服务有限公司(以下简称"上海佳晟")是新加坡佳晟集团在中国的全资子公司。成立于2004年3月，注册资本401万美元。主要业务范围是精密仪器搬运、特殊设备定位、温控物品运输、设备的吊装、集装箱卸货等。经过5年多的发展，上海佳晟已顺利通过OHS 18001：1999(职业健康与安全)、ISO 14001(环境)和ISO9001：2000(质量)的体系认证。该公司在搬迁、安置工程的策划与执行方面，拥有丰富的经验与专业技能，拥有最先进的作业工具，可运输、搬运、安装极为精密的机械设备。公司法定代表人：杨昔璋。　　三、投资标的基本情况　　1、经营范围：主要经营精密仪器、设备的维修、售后服务和咨询服务 相关包装木箱制作 电子元器件批发等业务。　　2、出资方式：公司与上海佳晟各占50%股权。其中公司以现金进行出资，资金全部来源于公司的自有资金 上海佳晟以固定资产出资，出资额以资产评估机构确定的评估值为准。如果评估值高于2500万元人民币，则以2500万元人民币计作乙方的出资额，评估值高于2500万元人民币的部分计入公司的资本公积金。固定资产包括房屋建筑物、车辆及电子设备等，账面价值为2，231.51万元 　　3、预计动态投资回收期(Pt)：8年　　4、项目内部收益率：14.38%　　四、对外投资合同的主要内容　　合同甲方：外运发展 合同乙方：上海佳晟　　(1)、出资的约定具体见合资合同"第二条"，主要内容为：甲方以人民币现金方式出资，出资额为[2500]万元人民币，占公司注册资本的[50]% 乙方以机器设备方式出资，出资额相当于[2500]万元人民币，占公司注册资本的[50]%。　　(2)、不竞争条款约定具体见合资合同"第五条"。双方承诺在合资公司经营期间，不得在中国设立、投资、收购任何从事精密仪器、设备的维修、售后服务、搬入搬出服务和咨询服务 相关包装木箱制作 电子元器件批发("受限制业务")的其他实体 不得直接或间接地持有从事受限制业务的其他实体的所有者权益 不得与他方合作或通过任何其他形式从事受限制业务。　　(3)、终止约定具体见合资合同"第九条"，主要内容为：公司连续亏损三年，或累计亏损1000万元以上，任何一方均有权书面通知对方终止本合同 任何一方被收购或破产，对方有权书面通知被收购或破产的一方终止本合同。　　(4)、合同生效及效力"第十二条"，本合同由出资双方的法定代表人或其正式授权代表签字并加盖公章后生效。本合同未尽之处，由中外运佳晟设备工程服务有限公司章程进行规定。本合同与公司章程如有冲突之处时，以本合同为准。　　五、对外投资对公司的影响　　1、对外投资的资金来源：该资金来源于公司自有资金 　　2、对外投资对公司的影响：　　(1)进入搬入行业符合公司业务发展的需求，将对完善公司业务链，形成完整的项目物流能力起到重要的作用，能够为客户提供全面的、优质的物流服务 　　(2)对公司形成完整的项目物流链及业务能力起到重要的作用，有助于公司的综合物流业务向平板行业、光伏产业、精密半导体制造行业的深层拓展，提高项目中标能力。　　(3)由于设备搬入业务在整个物流行业细分市场中具有一定的技术门槛，市场竞争情况没有其他物流细分市场激烈，还保持了较高的利润水平。因此可以为公司获得新的利润增长点，提高公司整体盈利能力。　　六、对外投资的风险分析及对策　　1、竞争环境恶化的风险。由于竞争环境恶化，导致搬运行业价格走低，合资公司经营压力将会加大。同时如果传统物流企业大批进入该行业，势必造成行业更加激烈的竞争，行业价格下降，合资公司将难以达到预想中的利润水平。　　2、国家政策的变化的风险。近来年中国政府积极鼓励和扶持光电产业的发展，相关政策也进行倾斜，但如果光电产业重复建设严重，不排除出现国家限制发展和取消有利政策的可能性。结果将势必影响合资公司未来的收入。　　七、备查文件目录　　1、中外运空运发展股份有限公司第四届董事会第十四次会议决议 　　2、中外运空运发展股份有限公司与佳晟(上海)精密仪器设备服务有限公司合资项目可行性研究报告。　　3、中外运空运发展股份有限公司与佳晟(上海)精密仪器设备服务有限公司合资合同　　4、其他相关资料　　特此公告。　　中外运空运发展股份有限公司　　董事会　　二○一○年四月二十六日

超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1，2，付海金 1，2，胡鹏程 1，2*，杨睿韬 1，2，邢旭 1，2，于亮 1，2，常笛 1，2，谭久彬 1，2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求，哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉仪，激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077 nm，光学非线性误差最低为 13 pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域，为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造；激光干涉；超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量（DMLI）技术是一种以激光 波长为标尺，通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点，DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪，已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例，其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求，目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米，并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级；而位移测量速度需求，则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言，影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求，以美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构，长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而， 一方面，上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单，不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求；另一方面，上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求， 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉 仪，可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段，而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性，本课题组围绕这 3 个核心指标（特别是光学非线性）设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入，具备抗环境干扰能力强的优点，是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径，并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于，通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性，并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统，保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性［19- 20］。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组（图 11） 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″，与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上， 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠，优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年，本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构［2，21］，具体结构如图 12 所示，测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源，建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法，改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组［2-3］，并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K［22- 25］。同时，本课题组也采用多光纤高精度平行分光，突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光，致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题，保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 （图 17），其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 （k=3），位移分辨力为 0. 077 nm，最低光学非线性误差为 13 pm，最大测量速度为 5. 37 m/s（表 2）。并成功应用于上海微电子装备（集团）股份有限公司 （SMEE）、中国计量科学研究院（NIM）、德国联邦物理技术研究院（PTB）等十余家单位 ，在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。（a）20轴以上超精密高速激光干涉仪；（b）单轴亚纳米级激光干涉仪；（c）三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量， 不仅考验仪器的研制水平，更考验仪器的应用水 平，如复杂系统中的多轴同步测量，亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理，高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制：多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面，多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是，一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运；另一方面该类仪器技术复杂、难度极大，我国一直未能完整掌握，这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域，典型应用如图 18 所示，其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求，打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁，在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中，干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上，最大测量速度可达 5. 37 m/s，激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10（k=3），位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm，光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴（3~5 mK@ 10 min）和隔振环境，可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦，以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求，进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制：亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面，如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义，被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中，关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量，其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此，本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪，并成功应用于我国首套量子化质量基准装置（图 19），在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用，并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一［30- 32］。为达到亚纳米级测量精度，除了精密的隔振与温控环境以外，该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响， 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外，为了实现对被测对象的姿态监测，该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来，随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展，光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此，本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展，下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面： 1）围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中，其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升，将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度，对激光干涉仪的研发提出严峻挑战；极紫外光刻机采用真空工作环境，可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差，同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2）皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年， 国家自然科学基金委员会（NSFC）联合德国科学基 金会（DFG）共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”（2021 至 2023 年）。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院（PTB）合作完成，预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪，并进行国际范围内的直接 比对。3）空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后，各国纷纷开展了空间引力波探测计划，这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中，中国的空间引力波探测计划，将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上，实现皮米精度的超精密测量，本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下，将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究，特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作，预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础，建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队，并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持，建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台，开发了系列超精密激光干涉测量仪，在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用，推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展，并将通过进一步研发，为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见：超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf

本公司曾于2010年7月1日发表严正声明，就部分不法商家侵犯本公司惯用简称“上海精科”的行为予以了通告，并保留进一步诉诸法律的权利。声明发表后，所涉商家并未停止对本公司商誉及企业名称权的侵害，为此，本公司于2010年11月26日就此侵权行为向被告上海精学科学仪器有限公司和被告成都科析仪器成套有限公司提起诉讼，以维护公司的合法权益。　　2011年8月11日，上海市浦东新区人民法院以【(2010)浦民三(知)初字第769号】民事判决书作出如下判决：　　1、被告上海精学科学仪器有限公司立即停止在商品和商品宣传上使用“上海精科”标识 　　2、被告成都科析仪器成套有限公司、上海精学科学仪器有限公司立即停止侵犯原告上海精密科学仪器有限公司企业名称权的不正当竞争行为 　　3、被告上海精学科学仪器有限公司就其在商品和商品宣传上使用“上海精科”标识的不正当竞争行为，在判决生效之日起10日内赔偿原告上海精密科学仪器有限公司经济损失人民币5万元 　　4、被告成都科析仪器成套有限公司、上海精学科学仪器有限公司就其侵犯原告企业名称权的不正当竞争行为，在判决生效之日起10日内赔偿原告上海精密科学仪器有限公司经济损失人民币10万元。　　同时，上海市浦东新区人民法院【(2010)浦民三(知)初字第769号】民事判决书认为：“被告科析公司将原告在先使用的企业名称简称‘精科’注册为商标及予以使用的行为，构成对原告企业名称权的侵犯，属于不正当竞争行为”。　　因两被告不服上述判决，又上诉至上海市第一中级人民法院，经审理，上海市第一中级人民法院【(2011)沪一中民五(知)终字第232号】于2011年12月23日作出了驳回上诉，维持原判的终审判决。　　为此，请广大消费者及经销商在购买“上海精科”产品的过程中仔细辨析，认清真伪，以防被骗。今后若在商品流通市场中仍发现有侵权产品，也请广大消费者及经销商及时向本公司反映或向相关部门举报。　　特此声明。　　上海精密科学仪器有限公司　　2012年1月9日

作为天开高教科创园津南园的承接载体之一，日前，天津高端精密仪器产业园项目一期交付，今后将为天津大学精密仪器的成果转化落地提供平台。作为全市首家以精密仪器、传感器以及工业过程控制为主导产业的专业化主题园区，天津高端精密仪器产业园一期占地52亩，能为企业提供建筑面积约500至5000平方米的三至五层双拼、独栋、多层厂房，可用于科技研发、小试中试研发组装、集合性办公等。随着众多企业入驻，园区将形成产业聚集效应，并在校企对接、研产科技转化、解决企业用工需求、市场对接撮合、股权融资、银行机构融资方面发力，为入园企业发展赋能。天津高端精密仪器产业园相关负责人介绍说：“截至目前，园区一期招商引资工作已经全部完成，累计引进企业26家，其中，国家高新技术企业10家、专精特新企业3家、雏鹰企业4家。”

2022年9月8日，摩方精密被日本精密工学会正式授予“日本精密工学会制造奖”，成为全球第三家获得该奖项的非日本本土企业，也是第一家来自中国的企业，而此前获得过此殊荣的国外企业，只有德国的两家公司。这也是摩方精密继获得国际光学工程学会棱镜奖、TCT2022最佳硬件及聚合物系统奖后，再次斩获国际重量级奖项。 日本精密工学会成立于1933 年，到目前为止，在全球范围内已拥有包括高等院校、研究机构以及知名企业在内的5500多个成员，在世界精密制造工业领域中，尤其是在精密设计、精密加工、精密机械、精密计量、环境工学、表面材料、医学器械等诸多领域，始终占据着领导者地位。日本精密工学会设奖目的在于，一方面奖励具有卓越的开发力和工业改善力的优秀新型产品或具有促进制造业发展作用的高新技术；另一方面奖励在精密工程领域开发出具有高社会价值产品和技术的优秀企业，以肯定他们的努力和贡献，支持他们进一步发展。因此，此次获奖，无疑对摩方精密在精密加工制造领域的技术实力和突出贡献给予了高度的肯定和莫大的鼓励。摩方精密作为全球微纳3D打印和精密加工领域先行者和领导者，今后将凭借领先于行业的卓越技术实力，为全球制造产业的发展、科学技术的进步做出更大的贡献。

成果名称高精密半导体激光系统的研制单位名称北京大学联系人马靖联系邮箱mj@labpku.com成果成熟度&radic 研发阶段 □原理样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产成果简介：在新一代高精度卫星全球定位系统中，星载原子钟、新一代原子干涉仪、新一代重力测量仪等精密测量设备都迫切需要频率稳定度高、对参考谱线具有自动识别功能的高精密外腔半导体激光器。此外，发展具有我国自主知识产权的高精密半导体激光技术，使我国摆脱此类高端激光依赖进口的被动局面，将为我国新一代的高精度卫星全球定位系统、环境检测技术和生物检测技术等高新技术的发展打下坚实的基础。北京大学信息科学与技术学院陈徐宗教授申请的&ldquo 高精密半导体激光系统的研制&rdquo 项目，以研制具有国际先进水平的高精度可调谐半导体激光器和高精度倍频激光器为目标，瞄准该课题中的关键技术，着力解决高精度可调谐外腔半导体激光器的光栅反馈的稳定性、宽连续可调谐范围、中心波长范围等核心问题。 2009年，该项目获得了北京大学&ldquo 仪器创制与关键技术研发&rdquo 基金资助。在基金的资助下，通过关键器件的购置和实验材料的加工，课题组开展了一系列富有成效的工作，包括：外腔半导体激光头的研制、精密电源与高精密频率控制器的研制、精密光谱监测系统的研制、激光倍频光学系统的研制、倍频腔稳频电路的设计和精密控温器的研制等，实现了激光自动锁频、连续稳频、迁谱线智能识别等创新功能。在未来的工作中，课题组将进一步提升该系统的稳定性和可靠性，优化相关工艺设计，推动高精密半导体激光技术的发展与产业化。应用前景：在新一代高精度卫星全球定位系统中，星载原子钟、新一代原子干涉仪、新一代重力测量仪等精密测量设备都迫切需要频率稳定度高、对参考谱线具有自动识别功能的高精密外腔半导体激光器。

近日，国际知名企业家--千本倖生博士正式宣布加入重庆摩方精密，任日本摩方董事长。千本倖生，1966年毕业于京都大学工学部电子学科，毕业后就职于日本最大的通讯运营商NTT，后在稻盛和夫的邀请下加入京瓷；42岁与稻盛和夫共同创办第二电电（现日本第二大通讯运营商KDDI）；54岁任庆应义塾大学经营研究生院教授；57岁创办eAccess；63岁创办EMOBILE，任会长兼CEO；历经固定电话业务、固定网络业务和移动宽带业务，几乎涵盖了通信行业迅速发展的40年历程。千本倖生博士三次成功创立日本上市公司，是日本杰出的企业家；同时，在全球企业界也有着强大的人脉网络和巨大的影响力。千本倖生博士的加入，将有力推动摩方精密的技术在各领域的业务拓展。

现代精密测量技术是一门涉及光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术等多学科的综合性交叉学科，在科学研究、精密制造等领域发挥重要作用。高水平的精密测量技术和精密仪器制造能力，是衡量国家科学研究和整体工业领先程度的重要指标，更是发展高端制造业的必备条件。没有超精密测量，就没有高端装备制造。为了解我国大尺寸精密测量技术及几何量微纳米级精密测量技术发展及应用现状，仪器信息网特别发起“几何量精密测量技术发展及应用”主题约稿活动，广泛征集来自科研单位、仪器企业及应用单位等观点分享，诚邀您参与投稿。1、约稿对象要求1）开展几何量精密测量研究及应用的专家学者，副教授、副研究员、高工及以上；2) 相关仪器企业研发人员/产品经理/应用工程师，具有5年以上从业经验。2、约稿主题（包含但不局限于以下）1) 综述：三坐标测量机、影像测量仪、激光干涉仪、激光跟踪仪、表面粗糙度仪、轮廓仪、三维扫描仪、在线测量等某个或多个几何量精密测量仪器技术发展现状及趋势；2) 上述测量技术在科研或精密制造等领域的应用；3) 几何量精密测量仪器产业观察/市场研究分析；4) 相关新成果、新技术、新方法及其应用；……3、稿件要求1) 文章（图文或视频类）为原创作品，尚未公开发表；2) 观点明确，数据可靠，文字准确简练，中心思想积极向上；3) 正文不少于1500字符，图片和照片务必清晰。 备注：仪器企业专家的约稿，厂商自身的内容不能超过30%4）投稿须为Word文档，本网编辑有权对文稿进行修改，如不同意请注明。4、投稿时间及方式回稿截止时间：2022年6月26日投稿邮箱：niuyw@instrument.com.cn联系人：牛编辑（13520558237） 仪器信息网2022年6月

7月30日，第一届精密制造产业发展学术研讨会在两江新区召开，重庆摩方精密科技股份有限公司（以下简称“摩方精密”）举行D轮融资签约仪式，宣布完成了1.7亿元D轮融资。这是继2022年摩方精密完成3亿元C轮融资后，在1年的时间里又完成的新一轮融资。两江新区党工委委员、管委会副主任李洁出席签约仪式。据介绍，摩方精密本轮融资由国家制造业转型升级基金股份有限公司、上海国泰君安创新股权投资母基金联合领投，上海张江科技创业投资有限公司、重庆健欣合盈私募股权投资基金合伙企业、广东泛湾盈康股权投资合伙企业（有限合伙）、广州云帆科技投资有限公司跟投。摩方精密成立于2016年，是目前全球唯一可以生产最高精度达到2μm，并实现工业化的3D打印系统提供商，提供了一种超高精密加工的颠覆性手段。截至2023年6月，全球35个国家，近2000家科研机构及工业企业与摩方精密建立了合作。目前，包括强生、GE医疗等在内的全球排名前10的医疗器械企业，全部与摩方精密合作；全球排名前10的精密连接器企业，有9家与摩方精密建立了合作。“近期以来，我们广泛与各个企业开展合作，提供了领先的解决方案和创新的生产工艺，为不同领域带来了持续创新和发展的动力。”摩方精密董事长兼总裁贺晓宁表示，企业拿到融资后，将持续深化终端应用的研究及拓展领导的产业化，从而进一步巩固摩方精密在全球超高精密3D打印领域占据的领先地位。以牙齿贴面领域为例，目前全球基于机加工的氧化锆牙齿贴面最低厚度在300μm以上。摩方精密与北大口腔医院的专家团队紧密合作，投资1200万元建立联合实验室，利用摩方超高精密3D打印技术，将氧化锆牙齿贴面厚度降至40μm左右。口腔生物材料和数字诊疗装备国家工程研究中心智能技术平台负责人、北京大学口腔医（学）院教授孙玉春表示：“极薄强韧3D打印氧化锆贴面技术可将陶瓷贴面的厚度从400微米降至最薄40微米，能快速、无痛地强化和保护牙齿表面，使其免受冷酸刺激和磨损，并且变得洁白而整齐，更为关键的是:与原有陶瓷贴面技术相比，整个过程的牙齿磨削量减少90%甚至无需磨牙。”此外，在生物反应器领域，摩方精密在美国圣地亚哥建立研发中心，设计研发了创新性的生物培养芯片，通过3D培养多能干细胞或特定组织的祖细胞形成，具有高生理相关性。摩方使用高精密3D打印技术生产的生物反应器具有管壁达到100μm、并带有5μm以下灌输孔的类毛细血管结构，能通过类毛细血管灌输实现内外营养供给，解决了氧气和营养不足的问题。此创新技术使类器官更接近真实人体器官，提高了体积、功能和区域异质性的还原程度。在国内，摩方精密联合伯桢生物及复旦大学科学团队，将共同研发由生物反应器与高人体器官相似性的类器官所组成的类器官芯片。该款芯片产品将为肿瘤建模提供更真实成熟的平台，为药物筛选提供更准确稳定的工具。复旦大学科学团队龚晓峰表示：“该项技术的产生推动了类器官技术在时间和空间维度上的巨大突破，打通了类器官技术革命的‘最后一公里’。”电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）广泛应用于芯片、医学、环境监测，其关键耗材雾化器在国内尚无具备自主知识产权的生产商。该部件高度依赖进口、结构精密、清洗过程复杂，全球市场过亿美元。摩方精密与杭州睿思纳德精密科技公司共同研发，利用摩方超高精密3D打印技术，实现对内部构造的精准控制，使管径内壁间距离仅为60μm，该技术保障了产品批次间质量，避免进口产品旧工艺导致的高废品率问题；同时，增材制造大幅降低了原工艺的成本，市场终端售价仅为原产品的1/10，从而将普通耗材打造为一次性耗材，进一步避免了使用浓酸、超声反复疏通管路的流程及清洗血样、尿样等生物样本接触造成的安全隐患，受到科研及医学用户端的广泛欢迎。杭州睿思纳德精密科技有限公司创始人、中国科学院生态环境研究中心研究员胡立刚表示：“摩方精密高精度3D打印设备，解决了质谱检测仪关键零部件及高值耗材难题，实现了质谱高值耗材及核心部件‘国产化替代’解决方案。”国家制造业转型升级基金相关负责人表示，基础智能装备、新材料、核心基础零部件是制造业大基金的重点投资布局领域。增材制造（3D打印）作为新兴的制造技术，在核心基础零部件、新材料方面的应用不断扩展，成为基础及新型制造领域发展最快的技术方向之一。摩方精密作为全球微纳尺度非金属3D打印领军企业，具备较强的战略性、先导性，是我国在3D打印领域为数不多具备全球领先优势的企业之一。未来，大基金预计还将继续通过该笔投资和下游企业展开更有力的互动。国泰君安创新投资董事长江伟表示，高精密制造正成为全球制造业竞争的焦点，摩方精密研发的微纳3D打印技术能够解决传统制造工艺制造复杂、精细的器件时遇到的难题，具有明显的技术优势和重大的产业化应用前景。国泰君安创新投资将充分发挥自身综合金融服务和新兴科技产业生态优势，和摩方精密共同推动国内原创技术的发展，助力中国制造业的转型升级。贺晓宁表示，下一阶段，摩方将不断赋能、孵化相关应用领域产品，与各个企业广泛合作，依托于长期积累的核心技术，坚持自主创新，不断丰富产品矩阵，致力于为全球客户提供颠覆性精密加工能力解决方案。在本轮融资后，摩方精密将不断提升创新研发，进一步推进并延伸终端产品。未来，摩方精密将持续深耕精密医疗、高端制造等终端领域，加强与合作伙伴的合作，共同推动先进制造技术的发展。

近日，冷原子量子精密测量和量子计算技术研发商中科酷原科技（武汉）有限公司（以下简称“中科酷原”）完成数千万元A轮融资，独家投资方为中科创星。据悉，本轮融资主要用于量子精密测量仪器和原子量子计算的研发和产业化，进一步强化公司人才储备，提升公司核心竞争力，将系列化的量子精密测量仪器和量子计算产品在科研、教学和科普等领域进行推广和应用。中科酷原成立于2020年，核心团队源自中国科学院精密测量创新与技术研究院，先后承担过973、863、国家重点研发计划等多项国家项目。公司于2020年获得中科科源基金种子轮的投资，入选了武汉市量子技术产业重点企业；2021年获得湖北省工友杯创业大赛决赛第一名、湖北省工会“工人先锋号”等荣誉。核心团队研制的原子绝对重力仪参加了第十届绝对重力仪的国际比对，测量结果得到国际计量局的认可，仪器测量灵敏度和稳定度等关键指标已达到国际一流水平。团队自主研制的小型化原子重力仪入选“中科院自主研制仪器产品”名录。中科酷原以推动量子技术革命的浪潮为使命，致力于为科研机构、企业研发部门、工业生产和教育科普等领域的客户提供技术先进、品质优异、成本可控的量子技术产品。地球重力场反映物质分布及其随时间和空间的变化。测量重力场的仪器统称为重力仪，具体可分为相对重力仪和绝对重力仪。量子重力仪是一种典型的绝对重力仪，它摆脱了传统光电仪器的工作机理限制，直接利用物质的量子本质进行精密测量，测量精度也有了大幅提升。量子重力测量研究分为超高精度和小型化两个方向。大型超高精度喷泉式冷原子重力仪有望应用于验证爱因斯坦广义相对论理论、探测引力波、研究暗物质和暗能量等，成为基础科研的有力工具。小型化下抛式冷原子重力仪有望应用于可移动平台，例如航空重力仪、潜艇重力仪甚至卫星重力仪。英国伯明翰大学率先开发了名为Wee_G的量子重力仪样机，并于2018年成功实现了量子重力梯度仪样机Gravity-Imager的测试。2019年该团队进一步将Wee_G的重力场测量精度提升至10-9mGa数量级。其未来有望被当成一个早期预警系统，用于监测火山喷发前衡量火山的岩浆堆积程度。同时，它还能被用于民用工程以及油气储藏的勘察等。美国的激光干涉引力波观测仪（LIGO）成功测量到在距离地球13亿光年处的两个黑洞合并所发射出的引力波信号。总体来说，随着相关技术的发展，将广泛应用于地球物理、资源勘探、地震研究、重力勘察等领域。

*深圳摩方新材科技有限公司为重庆摩方精密科技股份有限公司全资子公司7月12日发布的《投资家网2024大湾区新质生产力价值与创新企业榜》中，摩方精密从2100多家报名企业中脱颖而出，成功上榜，成为大湾区新质生产力代表企业。当天，《投资家》主办的“科技赋能 湾区新潮—2024粤港澳大湾区新质生产力投资对接会”在深圳南山举行，主办方现场为上榜企业颁发了奖牌，数百位资深PE/VC、新质生产力产业上市公司高管、专家学者和高净值人群参会。新质生产力具有高科技、高效能、高质量的“三高”特征，催生自技术突破、生产要素创新性配置、产业深度转型升级，是一种符合新发展理念的先进生产力质态，代表先进生产力的演进方向。当前，全球新一轮科技创新和产业变革来袭，与我国加快转变经济发展方式形成历史性交汇。培育、发展新质生产力，是提升产业层次、推动产业结构升级的重要途经。摩方精密所在的工业级精密增材制造领域，融合了机械、材料、软件、电子、设计、计算机视觉、大数据等学科，诞生时间短却极具颠覆性，是近年来制造业迭代的亮点，对高端制造业效率、创新和可持续性产生广泛的影响，有望成为启动制造业产业创新升级的新引擎之一。作为微纳增材制造领军者，自诞生以来，摩方精密坚持自主创新战略，以创新的面投影微立体光刻（Pµ SL）技术，成为全球最早攻克精密制造的无人区——2/10微米级增材制造兼具高标准公差控制力的企业，填补了高精度增材制造微米级精度的空白，实现了增材制造细分领域“从0到1”的原始创新，并带来了创新的连锁效应：它以颠覆性的技术赋能包括精密医疗、高端分析仪器、新能源、5G、精密电子等前沿制造业领域，为产业应用创新带去能力与效率；它被广泛应用到仿生学、微机械、微流控、超材料、生物医疗、太赫兹、力学等科研领域，推动基础科研实现突破创新，诞生更多“从0到1”。图：摩方精密高精度打印制造的点阵结构（左一）类巴基球结构（左二）仿生微针结构（左三）在这一过程中，摩方精密也成就了自身的“从1到N”——从一家高端精密设备制造及销售企业，成长为技术赋能产业的平台。将一款在世界范围内具有突破性的超薄牙齿贴面从实验室带到全球市场，是其利用独有的精密加工技术，赋能口腔医疗行业，实践产业创新“孵化”的典型案例之一。图：摩方精密给日本牙医现场展示国产牙齿贴面的粘贴过程当前，摩方精密还在利用自身的技术和资金优势，丰富的产业化资源与管理经验，积极主动地承担起从实验室到产业化应用转化的桥梁角色，为众多高校不同学科/产业链提供新的技术和解决方案，协调促进技术与产业链深度融合，推动地方经济高质量发展。自2019年启动全球平台战略以来，摩方精密以开放式创新战略走出国门，与来自全球众多领域的世界500强企业建立合作关系，构建起全球客户网络。截至2024年4月，摩方精密的设备和技术已服务全球35个国家的近2200位客户。其海外设备销售收入占比逐年攀升，2023年达50%以上。据了解，本次《2024大湾区新质生产力价值与创新企业榜》评选，主办方“通过融资、技术、产品、团队、影响力五大维度，对参评企业进行综合评价，配合投资家网WFin数据库对采集数据进行分析，综合评估出符合上榜条件的大湾区新质生产力企业。”关于榜单：“投资家网中国价值与创新企业系列榜单”是投资家网推出的具有权威性、专业性、影响力的榜单评选。“系列榜单”至今已评选多次，深受业内关注。“投资家网2024大湾区新质生产力价值与创新企业榜”参评目标，包括粤港澳大湾区范围内的创业公司、上市公司，所属领域含AI、智能制造、新能源、芯片半导体、生物技术、商业航天等。本次榜单，旨在通过深入调研、科学评估，发掘对中国经济具有贡献意义的大湾区新质生产力企业，为中国股权投资及科技赛道提供有价值的参考信息。

一种能广泛用于高等院校、科研单位、工矿企业和环保领域化学实验室测量水溶液的pH值和电位mV值的PHSJ-5型实验室pH计，最近由我公司电化学事业部研发成功，现已投放市场。该实验室pH计系精密级pH测量仪器，配有自主开发的数据采集软件，技术、性能在国内属先进，接近国外专业电化学实验室仪器制造商同类新产品水平。　　PHSJ-5型实验室pH计采用高精度A /D 转化芯片，配置精密级pH电极、精密级参比电极和精密级温度传感器，确保了仪器具有0.001级pH的测量精度，能满足用户精密测量水溶液的pH值和电位mV值。该仪器主要有五个特点：一是触摸式大屏幕液晶显示屏，全中文操作界面，使用方便 二是可选择多种pH标准缓冲溶液标定仪器，利于用户建立自己的标液组 三是具有自动识别五种标准溶液功能 四是自动和手动温度补偿、自动校准、自动计算电极百分理论斜率 五是能储存、删除、打印、查阅，最多可储存200套测量数据，并有RS-232通讯功能。　　 图为公司电化学事业部推出的最新型精密级实验室Ph计