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前段时间我们的ICP被拆开了,我看了一下里面放功率管的位置,发现里面有一些铜线,铜片,还有个弯成了螺旋型的空心管,我想问一下那些与功率管相连的东西是做什么用的啊,还有就是,ICP的灯丝是干什么用的它是位于功率管中吗?功率管里面都有什么啊,它的作用就只是用来控制稳定高压高频电流吗?请指教
[img]http://simg.instrument.com.cn/bbs/images/brow/em09502.gif[/img]RF功率管是给等离子体提供能量的,其灯丝的工作原理就象个灯泡,如果用的时间长了可能寿命就到了,由于各厂家的功率管都很贵,我这里专门从国外进口了PerkinElmer、Thermo、Leeman、Jobin Yvon、Varian、Spectro各厂家ICP的不同的RF功率管,由于是通过专门的渠道进口的,因此相对要便宜点,有需要的朋友可以和我联系。
之前设备工作中频繁熄火,考虑到设备使用已经到了第七个年头,一般很少对设备核心部件做维护,周五,工程师上门对设备做了检查和评估,如下图:[img=,690,460]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/06/201706111308_01_2140715_3.png[/img]VARIAN 700系列的RF工作仓还是挺占空间的,上图是清理灰尘后的[img=,531,561]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/06/201706111310_01_2140715_3.png[/img]RF功率管是MADE IN USA,设备点火后功率管是烧的通红的[img=,645,572]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/06/201706111312_01_2140715_3.png[/img]打开时候里面灰尘很多,工程师使用小毛刷和无尘纸擦了好久,VARIAN 系列通过捕风对RF功率管工作和设备内部降温,有些设备是通过水冷的方式给RF功率管工作和设备内部降温,比如利曼的ICP,设备清洁维护不到位的话,特别是使用时间比较长的设备问题还是容易爆发的,您的设备是否也出现过类似问题,欢迎讨论