仪器简介:特 点: ★高耐压性 ★橡胶密封、模拟电路的MFC★采用DB15型电插头,国际标准机械接头★CE认证,国际兼容用 途:质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 技术参数:产品型号D07-11C产品类型高耐压型,抗电磁干扰流量量程5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm产品精度 ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)重复精度±0.2% FS线性±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S)响应时间电特性: 10sec 气特性:≤4sec工作温度范围(5~45)°C耐压10MPa密封材料氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon输入输出信号0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)电源±15V电气连接D sub 15 pins Male工作压差范围(0.2~0.6) MPa (10slm<F.S.),(0.2~0.8) MPa (F.S.≤10slm)漏率1×10-10atm?cc / sec He(1×10-11 Pa?m3 / sec He)标准接头形式双卡套1/8”(满量程>10slm不适用),双卡套Φ3(满量程>10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,双卡套1/4”抗电磁干扰CE重量1Kg
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