薄膜,通常是指形成于基底之上、厚度在一微米或几微米以下的固态材料。薄膜材料广泛应用于不同的工业领域,譬如半导体、光学器件、汽车、新能源等诸多行业。沉积工艺决定了薄膜的成分和结构,最终影响薄膜的物性。马尔文帕纳科的X射线衍射(XRD)和X射线荧光光谱(XRF)分析设备,可以对不同类型的薄膜材料进行表征,帮助用户获取薄膜成分、厚度、微结构、取向等关键信息,帮助研究者优化或控制工艺参数,以改善薄膜材料的性能。
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