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海洋光学微型光谱仪在半导体领域的应用

主讲人：卢坤俊(海洋光学) 上传时间：2022/12/26 18:19

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课程详情

介绍海洋光学公司及工业客户合作模式，并分享海洋光学微型光谱仪在半导体膜厚测量， PECVD过程监控，Plasma Etching终点指示以及 Plasma Cleaning过程监控中的原理及应用。

讲师简介：

现任海洋光学亚洲公司资深应用工程师，拥有应用化学硕士学位。主要负责光纤光谱仪相关产品的技术支持与光谱解决方案的应用开发工作，具有丰富的材料、化学应用背景。

相关领域：

(食品/饮料/烟草)-(糖果/巧克力及制品)

相关仪器：

()-(手性柱)-()

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