电子显微镜作为重要的微观表征设备，已经广泛的应用于光电行业。本报告将重点介绍日立各类电镜及其相关产品的特点以及其在光电相关行业的应用案例，包括各类光电材料的形貌观察和成分分析，光电器件的三维形貌观察和失效分析，光电薄膜的粗糙度测量及界面分析等。
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