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电子显微分析在半导体及芯片失效分析中的应用

主讲人:刘小春(长沙理工大学金属研究所) 上传时间:2022/10/13 11:08
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在更小的尺度、更极端的应用条件下去理解并调控材料的“结构-性能”关系,是材料科学家的终极奋斗目标。聚焦离子束显微镜和透射电子显微镜作为微观尺度样品加工和表征测试的主要手段,本报告重点介绍利用电子显微分析在半导体及芯片失效分析中的应用。

讲师简介:

刘小春,长沙理工大学金属研究所所长,特聘教授,湖湘学者,入选湖湘青年科技创新人才,湖南省优秀青年基金获得者。2015年博士毕业于中国科学院金属研究所。2015年7月到2019年9月在中国科学院金属研究所沈阳材料(联合)国家实验室开展研究工作,依次获得“葛庭燧奖研金”和“所优秀学者”支持,入选中科院青年创新促进会会员。长期从事材料微观结构定量表征工作,通过引入纳米尺度低能界面,制备新型纳米材料,在更小的尺度探索材料科学中的新问题、新现象与新机制;从事电子芯片、传感器、电容器等产品逆向设计与新产品的研制,功能薄膜、半导体及金属材料失效分析等工作。以第一作者和通讯作者在《Science》、《Acta Materialia》等杂志上发表论文二十余篇,申请发明专利6项。 秉持“自由创新、奋进担当”的发展理念,长沙理工大学金属研究所通过自筹经费,搭建“材料电子显微分析中心”和“微纳力学与原位表征平台”,具备先进材料研究的硬件表征与分析检测能力,倡议青年科学家形成跨区域、跨单位的“科学家合作联盟”(Scientist-hub),联合100名科学家,1000万资金筹建先进材料(务实)创新研究院,为企业技术攻关与产品升级提供“智力支持”和解决方案,成为中小型企业的“中央研发中心”。通过为企业赋能创造价值,获得现金流,反哺基础科研。

相关领域:

(食品/饮料/烟草)-(乳制品及特殊膳食)

相关仪器:

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