高纯材料中微量的杂质元素就会影响其性能。以高纯金属为例，因为在金属未能达到一定纯度的情况下，金属特性往往会被杂质所掩盖，所以痕量杂质甚至超痕量杂质的存在都会影响金属的性能。所以准确测定痕量甚至超痕量杂质显得尤为重要。NexION 5000 多重四级杆化学高分辨ICP-MS正是高纯材料品控的一把利器，利用化学分子离子反应去除干扰，从而精确测定高纯材料中痕量及超痕量杂质。
