TESCAN双束电镜结合了高精度的FIB镜筒和超高分辨的SEM镜筒，同时拥有最佳离子束铣削能力和超高分辨率成像能力。镓离子FIB可以对10nm以下支撑的半导体器件进行高效、定点制备TEM样品；氙气等离子体FIB可以轻松应对宽达1mm的大面积截面加工。
