现在科研对于FIB制作TEM样品的需求越来越多，相比传统制作方式，样品制备的成功率更高，定位更为精确，可以得到更薄更均一的样品；但利用FIB来制作TEM样品时还会遇到一系列的问题，如离子束损伤，样品弯曲等，日立公司可通过其最新的FIB技术，配以专利技术的“三束”结构来减少对样品的损伤程度，从而得到更高精度的TEM样品；再辅以日立自动化样品制备程序，使得样品制备更简单更高效。
