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离子色谱技术在集成电路产业的应用

主讲人:李春华(上海市计量测试技术研究院) 上传时间:2022/03/07 17:59
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离子色谱技术在集成电路产业主要应用于材料中痕量杂质的检测,特别是痕量阴离子的定量检测。报告中介绍离子色谱在集成电路6种材料的应用实例。分别为:超纯水中20ppt阴离子浓缩技术,有机试剂中1ppb阴离子检测,氢氟酸检测中排斥柱技术,光刻胶中燃烧炉技术,电子特气吸收法的应用,碱性样品的二次中和技术。

讲师简介:

李春华,华东理工大学材料科学与工程专业毕业,研究生硕士,九三学社社员。2009年3月参加工作,高级工程师,现任上海市计量测试技术研究院集成电路产业计量检测中心主任兼上海市电子化学品计量检测技术服务平台技术主管。担任全国化学标准化技术委员会化学试剂分会委员,至今已参与起草国家标准10余项。从事检测分析13年,在痕量和超痕量杂质检测方面富有经验,熟悉电子化学品和药品中无机元素的方法学开发和验证工作。所属实验室在湿电子化学品、电子级多晶硅、硅片、光刻胶、抛光液、金属靶材和电子级气体领域已通过CNAS和CMA认证。

相关领域:

(钢铁/金属)-(刑事侦查)

相关仪器:

()-(气相色谱柱)-()

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