电子探针显微分析（EPMA）是利用高能电子束与固体样品相互作用，在样品的微米尺度上激发出特征X射线、二次电子、背散射电子、阴极荧光等信号，通过这些信号进行成分、形貌、结构等显微分析。电子探针是进行固体材料显微形貌、结构和成分表征的重要仪器。在地质学中，电子探针在矿物学、岩石学、矿床学及行星地质学研究中发挥着重要作用。
