辉光放电质谱是一种固体直接进样检测技术，具有基体效应小，检出限低，广泛的可同时检测元素范围等优势，已成为固体材料多元素分析尤其是高纯材料分析的强有力的工具。目前被广泛的应用于半导体材料，高纯金属及合金，无机非金属材料及薄层样品的镀层分析/深度分布剖面分析等检测领域。
