硅光技术是融合微电子和光电子的新兴技术，在光通信、传感、计算等领域具有广阔的应用前景。硅光芯片的制造工艺与CMOS工艺兼容，主要工艺模块包括光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积与外延、合金化等。本报告将介绍中科院微电子所硅光平台的典型工艺流程、对外技术服务，以及平台对相关薄膜工艺设备的需求和应用。
