摘要

先进的微电子和光电子材料在设计时，元素深度分布是纳米尺度的。因此，在每个加工步骤中了解近表面和深层纳米结构材料的化学成分对开发和调整工艺参数至关重要，这将影响最终器件的最佳性能。等离子体分析飞行时间质谱（PP-TOFMS）是一种分析速度快、具有纳米级深度分辨率剖析技术。剥蚀速率快的辉光放电等离子体结合高速的飞行时间质谱使PP-TOFMS成为工艺开发（生长、刻蚀）人员得到快速响应的有效工具，从而加快创新材料的部署。除了速度以外，这项技术的其他特性比如免校准的半定量、全元素覆盖以及易操作性使PP-TOFMS可以用于在线测试。这种优势会在许多应用领域得到验证：用于发光二极管和电力电子设备的氮化物材料，为近红外光电子的相变 GeSn 层开发的 GeSbTe 合金……

主要学习目标：

? PP-TOFMS 作为薄膜开发和生长&加工过程监控的（从生长到加工）深度剖析工具，其主要优势是速度快、操作简单、可半定量。? 探索 PP-TOFMS 在存储器、电力电子、光伏、磁传感器等领域的应用? 理解PP-TOFMS 可以为一些离线表征技术（如 XPS、SIMS、AES）提供补充信息