在AES或XPS分析中，我们通常采用元素相对灵敏度因子法测定表面组分，误差较大。本标准阐述原子相对灵敏度因子和平均基体相对灵敏度因子的测定方法，分析基体效应、表面污染等因素对实验结果的影响，并说明在均匀材料的AES和XPS分析中，基于这些灵敏度因子进行较准确定量的方法。
