无机质谱适合于固体、液体、气体样品的痕量和超痕量元素测定以及固体表面和固体深度分析,广泛应用于现代科学技术各个领域,如工业、地质、矿业、药物、生物、核工业、环境研究等。无机质谱相对于其它痕量分析方法(如发射光谱、原子吸收光谱、中子活化分析、X光谱等)是一种灵敏、准确的单元素或多元素痕量分析方法,并且涵盖了常量、微量、痕量和超痕量水平的浓度和同位素丰度的测定。