纳米力学量测应用于电子产业的研究与发展
魏伯任
纳米加工与测量技术是今日许多快速进展领域的重要关键，也是科学界与工业界持续投注大量关注与研发的指标方向。随着应用面不断地朝不同领域扩展，容量更多、速度更快、尺寸却更小的需求持续向前推进；纳米科技在今日世界早已不再只是学术科研的课题，而是在日常生活中扮演着无处不在却又举足轻重角色。多方面的进展已经在学理的机理研究与工业生产应用同步进行，快速地缩短由原理技术的创新开发到大量生产的质量管控、良率监控的进程。不难想象在有限的空间里置放各种不同功能、不同材质、不同属性的组件，当中所存在的大量薄膜堆栈、接口特性、刚度匹配、破裂韧性、高温膨胀、残余应力等问题，挑战着加工制造与量测检验在高精度与高分辨率的水平。
