纳米尺度下力学性质的测试一直是科研界与工业界关注的重要问题。随着测试技术往与其他性质相互串连的方向发展，其应用层面更是不断地朝不同领域扩展。今日的纳米压痕早已不再只是硬度与弹性模量的测试，在结合相对应技术架构的搭配之下，已经能够针对接口特性、破裂韧性、高温蠕变、残余应力等进行高精度与高分辨率的测试。
现阶段的复合技术已经够在多方面获得进展，如接口附着能、表面能、多层膜的破裂韧性等等。除了在学术理论技术方面的进展之外，在工业应用方面也因应各种生产需求，朝针对产品整体面向的质量管控与良率监控的自动化方向发展。
