典型用户

扫描电镜

扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）品牌：蔡司型号：SIGMA

仪器名称：

扫描电镜

英文名称：

SEM

所属分类：

分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 扫描探针显微镜

学科领域：

物理学

主要技术指标：

二次电子像分辨率：1.3nm (20 kV) 1.5nm (15 kV) 2.8nm (1kV) 放大倍率： 12×～1000,000×牛津仪器Inca X-Max20能谱仪分辨率: 优于127eV (计数率1,000-100,000cps)；稳定性: 1,000cps—100,000cps 谱峰漂移<><><1ev (mn="" ka)="" 峰背比20,000:="" 1="" (fe="" 55,="" mn="">

主要功能：

该设备发射一束高能的入射电子轰击物质表面，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射，利用电子和物质的相互作用，获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息；对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息