典型用户

场发射扫描电子显微镜

电镜制样设备品牌：ISS 型号：SIGMA500

仪器名称：

场发射扫描电子显微镜

英文名称：

field emission scanning electron microscope

所属分类：

分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 其他

学科领域：

材料科学能源科学技术

主要技术指标：

1、工作条件1.1、电源电压：220V±10V, 单相 50Hz1.2工作温度：18°C-25°C1.3、接地：独立的接地线1.4、仪器运行的持久性：长时间连续工作1.5、磁场：≤ 3 mGauss1.6、湿度：≤ 60% RH2、主要参数：总体性能：能观察磁性样品2.1、分辨本领二次电子像分辨率：0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV2.2、加速电压调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）调整步长：每档10 V连续可调(作为验收指标)2.3、探针电流：4pA-20nA 稳定性: 优于 0.2%/h 2.4、放大倍数：范围: 10-1,000,000×放大倍数调整：粗、细调模式连续可调预设定：可从用户菜单中选择设定值自动补偿：随着工作距离或加速电压的变化，自动精确校正放大倍数。校准：对于图像输出装置的改变，自动精确校正放大倍数。3、电子光学系统3.1、电子发射源：Schottky型场发射（热场发射）电子源3.2、透镜系统：电磁/静电式透镜会聚系统

主要功能：

(*)能谱探测器：场效应管(FET)内置的高速水滴型 SDD芯片，晶体有效检测面积30mm2，（2） (*) 脉冲处理板集成在探测器内，无需单独的谱仪箱，使系统更加高效和稳定。（3）分析元素范围：Be4~Am95（4）能量分辨率(Mn-Ka)：优于126eV, 严格依照ISO15632国际标准测量（5 ）轻元素分辨能力：C Ka优于42eV, F Ka优于52eV（6） (*)在0~200kcps范围内的分辨率稳定性：> 90% （7） (*)可处理最大计数率:1,600,000CPS，最大输出计数率>850,000CPS，