扫描电子显微镜
电镜制样设备
品牌:福禄克
型号:Tescan VEGA3-LMU
仪器名称:
扫描电子显微镜
英文名称:
所属分类:
电子测量仪器 > 通用电子测量仪器 > 其他
学科领域:
电子与通信技术
主要技术指标:
1.电镜: 分辨率(最低要求): 高真空:3.0nm(30kV),8.0nm(3KV); 低真空:3.5nm(30kV); 加速电压(最低要求):0.3-30kV, 连续可调; 放大倍率(最低要求):5-300000倍,可连续调整; 样品室尺寸:直径200mm; 最大样品尺寸:81mm; 样品台:五轴马达全自动优中心样品台,移动范围:X:≥80mm,Y≥50mm,Z ≥47mm,旋转:360°2.X射线能谱仪
主要功能:
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