典型用户

场发射双束扫描电镜

扫描电镜（SEM）品牌：FEI 型号：Helios 600 NanoLab

仪器名称：

场发射双束扫描电镜

英文名称：

所属分类：

核仪器 > 离子束分析仪器 > 其他

学科领域：

生物学

主要技术指标：

1.分辨率　在最适佳工作距离下：　　0.9nm @ 15kV 　　1.4nm @ 1kV 　在束交点(电子束+离子束)的工作距离下：　　1.0nm @ 15kV, 束交点工作距离 4mm 　　5nm FIB @ 30kV，束交点工作距离 16.5mm 2.加速电压范围：　　SEM: 30kV 至 350V 　　FIB: 30kV 至 500V 3.探测器：　　新一代TLD二次电子/背散射电子探测器　　样品室红外CCD 　　可选CDEM离子探测器、STEM、固体背散射探

主要功能：

. Schottky FESEM第一次达到亚纳米分辨率 2. FIB出色的分辨率以及最大范围的束流和加速电压 3. 出色的成像质量和系统稳定性 4. 新集成的电子和离子束16 位数字图案生成器 5. 最薄的样品制备，非常低的样品损伤、高速度、并且操作轻松 6. 二维和三维的纳米表征和纳米原型制作达到了新的极限