场发射双束扫描电镜
扫描电镜(SEM)
品牌:FEI
型号:Helios 600 NanoLab
仪器名称:
场发射双束扫描电镜
英文名称:
所属分类:
核仪器 > 离子束分析仪器 > 其他
学科领域:
生物学
主要技术指标:
1.分辨率 在最适佳工作距离下: 0.9nm @ 15kV 1.4nm @ 1kV 在束交点(电子束+离子束)的工作距离下: 1.0nm @ 15kV, 束交点工作距离 4mm 5nm FIB @ 30kV,束交点工作距离 16.5mm 2.加速电压范围: SEM: 30kV 至 350V FIB: 30kV 至 500V 3.探测器: 新一代TLD二次电子/背散射电子探测器 样品室红外CCD 可选CDEM离子探测器、STEM、固体背散射探
主要功能:
. Schottky FESEM第一次达到亚纳米分辨率 2. FIB出色的分辨率以及最大范围的束流和加速电压 3. 出色的成像质量和系统稳定性 4. 新集成的电子和离子束16 位数字图案生成器 5. 最薄的样品制备,非常低的样品损伤、高速度、并且操作轻松 6. 二维和三维的纳米表征和纳米原型制作达到了新的极限