典型用户

薄膜机微电池制备设备

其它通用分析品牌：杭州大华仪器制造有限公司型号：DH-DZ900

仪器名称：

薄膜机微电池制备设备

英文名称：

/

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 其他

学科领域：

食品科学技术

主要技术指标：

真空室内腔尺寸：直径×高度＝ø900×950mm3；极限真空度：优于5×10-4 Pa 漏率要求：（真空室，不安装离子源及溅射靶，冷态。真空抽至6.0×10-3 Pa后，关闭高阀，真空度降至1.0×10-1 Pa时间不少于15分钟。）；恢复真空：抽气速率：<20分钟（从大气—3.3×10-3Pa）常温状态；真空室材料：整个真空室采用SUS304不锈钢材料制造，内表面抛光，外表面喷丸处理；真空室结构：真空室壳体壁厚：8mm 真空室水套壁厚：3mm 镀膜室顶板及底板厚度：≥28mm 镀膜室门框及法兰厚度： 30mm 前开门

主要功能：

/

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