典型用户

硬质薄膜镀膜系统

样品前处理工作站品牌：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司型号：ZH450

仪器名称：

硬质薄膜镀膜系统

英文名称：

/

所属分类：

分析仪器 > 样品前处理及制备仪器 > 旋转薄膜蒸发仪

学科领域：

机械工程

主要技术指标：

★该系统为高真空阴极弧源放电+磁控溅射联合镀膜系统，系统用于直径10mm×300mm管材外表面或30×30×5mm板材表面以及刀具和模具上沉积高性能冶金和耐磨擦镀膜而设计，如TiAlN、TiN等。★1、系统采用立式前开门全不锈钢（太钢冷轧板304不锈钢）双层水冷结构。★2、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料304制造，腔体尺寸Φ500×H550（mm）氩弧焊接，表面钝化处理工艺。★3、系统采用分子泵+机械泵机组进行抽气，保证系统为准无油抽气系统。极限真空：溅射室(经烘烤)真空度极限≤8.0×10-5Pa；系统漏率：停泵关机 12小时后

主要功能：

/

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