场发射扫描电子显微镜
扫描探针显微镜SPM(原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM)
品牌:蔡司
型号:Sigma HD
仪器名称:
场发射扫描电子显微镜
英文名称:
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所属分类:
分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 扫描探针显微镜
学科领域:
材料科学
主要技术指标:
型号:Zeiss Sigma HD;灯丝:肖特基场发射;二次电子探测器:样品室内二次电子探测器;镜筒内In-lens二次电子探测器;背散射探测器:AsB角度选择背散射电子探测器;分辨率:1.0nm@15kV;1.9nm@1kV;放大倍数:10x-1,000,000x;加速电压:0.02-30kV;低真空压力范围:无;环境真空压力范围:无;探针电流范围:12pA-20nA;图像电平移:15um;真空模式:高真空模式;真空泵系统:机械泵+分子泵+离子泵;防震系统:内部悬臂式防震系统和外部气垫防震系统;物镜光阑:六孔光阑;冷却系统:水循环冷却系统;样品室尺寸:365mm(Ø)x270mm(
主要功能:
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