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焦距离子/电子双束系统

聚焦离子束显微镜品牌：* 型号：Quanta 3D FEG

仪器名称：

焦距离子/电子双束系统

英文名称：

所属分类：

核仪器 > 离子束分析仪器 > 背散射分析仪

学科领域：

物理学化学材料科学冶金工程技术

主要技术指标：

1、在最佳工作距离的分辨率： ≤0.6 nm @ 2 kV（二次电子成像分辨率） ≤0.7 nm @ 1 kV（二次电子成像分辨率）在双束交叉点的分辨率： ≤0.6 nm @ 15 kV（二次电子成像分辨率） ≤0.9 nm @ 5 kV（二次电子成像分辨率） ≤1.2 nm @ 1 kV（二次电子成像分辨率）2、电子束着陆电压：20 V ～ 30 kV3、离子束加速电压：500 V ～ 30 kV4、离子束束流强度：0.1 pA ～ 65 nA5、离子束分辨率：≤4.0 nm @ 30 kV6、沉积及刻蚀辅助材料：Pt、Si、SiO2

主要功能：

1. TEM透射电镜样品制备2.SEM扫描电子显微镜结构分析3.EBSD电子背散射衍射分析4.微纳结构加工5.力学及电学性能测试

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