典型用户

冷场扫描电子显微镜

扫描电镜（SEM）品牌：日立型号：SU8010

仪器名称：

冷场扫描电子显微镜

英文名称：

scanning electron microscope

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

物理学材料科学

主要技术指标：

电子分辨率 1.0nm（加速电压15kV、WD＝4mm） 1.3nm（加速电压1kV、WD＝1.5mm）加速电压 0.1～30kV 观测倍率 20～8000,000(底片输出) 60～2,000,000（显示器输出）样品台马达驱动 3轴马达行程 X 0～50mm Y 0～50mm Z 360° T -5～70° R 360° 最大装载尺寸 100mm（最大）探头 Lower 高立体感图像 Upper 高分辨SE、BSE图像反污染措施冷指标配物镜光阑内置自清洁功能电子枪内置加热器真空系统离子泵 3台分子泵 1台机械泵 1台配件真空转移盒可在不暴露大气下实现样品转移观察功能 E-1045离子溅射仪气压7-20Pa，样品最大直径60mm，最大高度20mm 冷冻干燥仪叔丁醇置换，脱水置换时间≤10min

主要功能：

1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm 2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品 3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像 4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能 5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能 6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成

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