典型用户

电子-离子双射束

扫描电镜（SEM）品牌：FEI公司型号：VERSA 3D

仪器名称：

电子-离子双射束

英文名称：

Focused Ion Beam

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

地球科学

主要技术指标：

聚焦离子束显微镜(Focused Ion beam, FIB)的系统是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器，当离子束打到样品表面上的时候，会产生一些二次离子信号，二次电子信号等，FIB通过对这些信号进行采集和处理形成显微图像。目前商用系统的离子束为液相金属离子源(Liquid Metal Ion Source, LMIS)，金属材质为镓(Gallium, Ga)，因为镓元素具有低熔点、低蒸气压、及良好的抗氧化力；典型的离子束显微镜包括液相金属离子源、电透镜、扫描电极、二次粒子侦测器、5-6轴向移动的试片基座、真空系统、抗振动和磁场的装置、电子控制面板、和计算机等硬设备，外加电场(Suppressor)于液相金属离子源可使液态镓形成细小尖端，再加上负电场(Extractor) 牵引尖端的镓，而导出镓离子束，在一般工作电压下，尖端电流密度约为1埃10-8 Amp/cm2，以电透镜聚焦，经过一连串变化孔径 (Automatic Variable Aperture, AVA)可决定离子束的大小，再经过二次聚焦至试片表面，利用物理碰撞来达到切割之目的。

主要功能：

1. 定点切割利用离子的物理碰撞来达到切割之目的。 2.二次电子成像和背散射成像。 3. 采用离子束/电子束，对珍贵样品进行纳米级加工，制作投射电镜（TEM）样品。