典型用户

日立场发射扫描电镜

扫描电镜（SEM）品牌：日立型号：S-4800

仪器名称：

日立场发射扫描电镜

英文名称：

所属分类：

其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

其他

主要技术指标：

二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV，减速模式) 1.0nm (15kV) 电子光学：电子枪: 冷场发射电子源加速电压: 0.5~30kV(0.1KV/步，可变) 放大倍率: x 20~ x 800,000 物镜光阑: 4孔，真空外选择和调校(内置加热器) 检测器: 二次电子检测器 (高位/低位) 背散射电子检测器(可选) EDX(可选) 透射电子检测器(可选) 法拉

主要功能：

1. 新型物镜采用专利的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。 2. 1KV低加速电压,不使用减速功能,可保证有2.0nm的分辨率。 3. 两种样品台可选：I型50mm x 50mm标准样品台或Ⅱ型110mm x 110mm大样品台。 4. 包括磁悬浮涡轮分子泵在内的先进的真空系统。 5. 光阑自清洁技术,避免了光阑的污染。

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