聚焦离子束显微镜
聚焦离子束显微镜
品牌：里昂
型号：Vectra986+
仪器名称：
聚焦离子束显微镜
英文名称：
Focused Ion beam
所属分类：
核仪器 > 离子束分析仪器 > 其他
学科领域：
化学工程
主要技术指标：
A,电压:Vacc:0.5~30KV Vext:0~6.5KV B,分辨率:5nm at 25KeV C, 放大倍率:200~15000倍D,可观察范围:x:0~25mm;y:0~25mm;z:5~30mm
主要功能：
1.Circuit Secondary Repair/Modify 2.Cross-Section 3.Failure/Structure Analysis 4.TM case sample fabrication
