典型用户

白光干涉仪

白光干涉测厚仪品牌：GO 型号：Zegage

仪器名称：

白光干涉仪

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 图像分析仪

学科领域：

信息科学与系统科学

主要技术指标：

扫描装置：3D相扫描干涉，不接触3D扫描测量，带防抖装置物镜： 10X、20X Z 轴驱动 100mm 行程， 0.1μ m 分辨率* 电控平台移动范围：XY: 平移 150mm; 倾斜± 4° 纵向扫描范围：大于150μm，纵向分辨率＜0.1nm，横向分辨率＜0.1nm * 扫描速度: 大于30μm/s RMS 重复性＜0.01 nm， RMSσ 台阶测量准确度 ≤ 0.75% 重复性≤ 0.1% @ 1σ* 表面形貌重复性＜0.2nm* 最大尺寸：φ200mm及更大的样品可以放置* 最大倾斜容忍度 75°

主要功能：

1.可以测量材料表面的线、面粗糙度数值。 2.提供多樣的测量参数,包含2D与3D的表面的纹理，形貌。

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河南工业大学拥有DNA测序仪、岛津GCMS-QP2010 Ultra、激光扫描共聚焦显微镜、超C博切片机、分子蒸馏设备、混合设备（微量配料混合）、白光干涉仪、方便面、挂面中试试验设备、液质联用仪、电子舌等科研仪器。

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