典型用户

原子层沉积系统

原子层沉积系统（ALD）品牌：TE 型号：Savannah S100

仪器名称：

原子层沉积系统

英文名称：

所属分类：

其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

化学

主要技术指标：

基片尺寸：8英寸加热温度：室温-450oC 均匀性： +/- 1% 前驱体数：4路兼容性：可兼容100级超净室真空度：5x10-7 Torr Base Pressure

主要功能：

1.可以通过控制反应周期数简单精确地控制薄膜的厚度，形成达到原子层厚度精度的薄膜 2.前驱体是饱和化学吸附，保证生成大面积均匀性的薄膜 3.可生成极好的三维保形性化学计量薄膜，作为台阶覆盖和纳米多孔材料的涂层 5.可以沉积多组份纳米薄层和混合氧化物 6.可在低温（室温到400oC）下生长薄膜 7. 可广泛适用于各种形状的衬底。 8.可以沉积氧化物、氮化物、氟化物、金属、碳化物、硫化物等多种薄膜材料

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中国科学院山西煤炭化学研究所拥有光电化学测试系统、CHNS/O有机元素分析仪、气质联用仪、原位 X射线粉末衍射仪、台式扫描电子显微镜、MOS波谱仪、液质联用仪、康塔IQ—微孔物理吸附仪、红外光谱仪、X-射线光电子能谱等科研仪器。

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