扫描电子显微镜
扫描探针显微镜SPM(原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM)
品牌:日本电子
型号:JSM-6510
仪器名称:
扫描电子显微镜
英文名称:
所属分类:
分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 扫描探针显微镜
学科领域:
物理学 自然科学相关工程与技术 产品应用相关工程与技术
主要技术指标:
分辨率:3.0nm(二次电子成像,工作电压30kV,工作距离8mm) 8.0nm(工作电压3kV,工作距离6mm) 15.0nm(工作电压1kV,工作距离6mm) 放大倍数:×50 to 300000 (149steps)
主要功能:
1.观察微观形貌;2.对样品拍照;3.测量尺寸