典型用户

准分子激光器

激光产品 品牌:SI 型号:PLD-IV

仪器名称:
准分子激光器

英文名称:
Pluse Laser Deposition

所属分类:
其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域:
物理学

主要技术指标:
1.磁性开关控制(MSC)保护; 2.激光脉冲能量最高400mJ 3.最大重复频率:4W; 4.系统极限真空:6.67×10-6Pa; 5.样品加热温度:800℃; 6.转速:5~60转/min; 7.样品到靶台距离可调范围:30~100mm。

主要功能:
1、电离电源:是工作气体电离; 2、靶位、样品转动控制电源:是成膜均匀; 3、烘烤照明:可对溅射室烘烤至150℃。

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