扫描电子显微镜
扫描电镜（SEM）
品牌：泰思
型号：VEGA 3 SBU
仪器名称：
扫描电子显微镜
英文名称：
scanning electron microscope
所属分类：
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域：
水利工程
主要技术指标：
电子枪： 钨灯丝 高真空下的分辨率（二次电子）﹕ 30KV下3.0nm 3KV下8.0nm低真空下的分辨率（背散射，低真空二次电子）﹕30KV下3.5nm放大倍数﹕ 4.5x—1,000,000x（大视野模式/分辨率模式连续可调） 加速电压﹕ 200V至30KV电子枪﹕ 钨灯丝探针电流﹕ 1pA至2μA扫描﹕扫描速度﹕从20ns至10ms/每个象素分段式或连续式的调整。扫描方式﹕点&线扫描 聚焦窗口 - 形状，尺寸和位置都可调整 动态聚焦 – 最大可达±70° 图像旋转，图像微移，倾斜校正 3维电子束 – 定义电子束倾斜角度后，围绕XY轴扫描 3维立体图像 电子束写入（选配软件）可写入多种图形
主要功能：
1、观测固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)；2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析。
