典型用户

超高真空激光分子束外延系统

分子束外延(MBE) 品牌：博纳型号：激光分子束外延系统

仪器名称：

超高真空激光分子束外延系统

英文名称：

Ultra high vacuum laser molecular beam epitaxy system

所属分类：

工艺试验仪器 > 化工、制药工艺实验设备 > 化学反应工艺实验设备

学科领域：

材料科学能源科学技术化学工程

主要技术指标：

激光分子束外延系统（LMBE）是在传统的分子束外延（MBE）和脉冲激光沉积系统（PLD）的基础上发展而来的，PLD与提供原位监测的反射高能电子衍射仪（RHEED）相结合，使得系统能够实现类似于MBE的，单原子层精度的薄膜生长。相比于MBE的热蒸发，它是使用脉冲激光的高能量使材料蒸发甚至电离，因此被称作Laser MBE（激光分子束外延系统）。LMBE属于高端薄膜制备设备，适用于生长各种纳米尺度的单层膜或多层膜。

主要功能：

1、超高真空沉积腔体，本底真空优于10-9mbar。2、可集成多种薄膜制备和表面分析设备，如磁控溅射源、离子源、STM、XPS等。3、可以通过软件编写工艺流程，系统自动执行，可实现多层膜的自动化生长。

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盐城工学院拥有扫描电化学显微镜、超高真空激光分子束外延系统、常温常压气固相催化反应系统、数控龙门加工中心、双通道电液伺服结构试验系统、数控电火花线切割机、电液伺服结构疲劳试验系统、透射电子显微镜、X射线光电子能谱仪、烧结炉等科研仪器。

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