金属材料检测平台
纯元素、稀土、稀贵金属及合金
品牌：蔡司
型号：EVO
仪器名称：
金属材料检测平台
英文名称：
所属分类：
其他仪器 > 其他 > 其他
学科领域：
材料科学 冶金工程技术
主要技术指标：
1.分辨率：
高真空二次电子像：不低于3nm @30kV，不低于10nm @3kV。
低真空背散射电子像：不低于4.0nm @30kV。
2.电子光学系统：
3.样品室及样品台：
1）内部尺寸：不小于365mm（直径）×275mm（高）
2）样品台马达移动范围：不小于120mm（X方向），120mm（Y方向），50mm（Z方向），0-90°（倾斜），360°（旋转）。
4.探测器：
1）高真空二次电子探测器。
主要功能：
1）真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水。
2）真空度：最高真空度：优于0.1mPa；
低真空压力范围：10Pa~400Pa。
3）在低真空条件下，保持8.5的工作距离，并且可以做能谱
