微波等离子去胶机
ICP-MS电感耦合等离子体质谱
品牌：AS
型号：AL76
仪器名称：
微波等离子去胶机
英文名称：
所属分类：
工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备
学科领域：
电子与通信技术
主要技术指标：
真空压力：1-100帕斯卡，通用气路2路，特殊气体1路；
②最大承载8"基片；
③微波发生器100-600W，最大微波功率600W；
④去胶均匀性1.0 %；
⑤加热温度20-250℃，冷却温度20-0℃；
⑥微波频率：2.45GHz。
主要功能：
2～8英寸晶圆片和方片光刻胶去除、表面预处理、减薄等功能，其所有的功能都能实现智能控制，而且可通过软件批量控制工艺处理数据。
