微波等离子体去胶机

仪器名称：

微波等离子体去胶机

英文名称：

Gasonics L3510

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

无

主要功能：

Bas-Pressure：<5-mTorr-Lea-Rate：<3-mTorr/min；Proces-Pressur-Tolerance：5-o-setpoint；MF-Accurac-(Digita-MFC)：<10-(ful-scale)；Heate-Temperatur-Control：1o-setpoint；Tem-spec-5℃-Particle：<30EA(>0.3um)。