典型用户

电子束蒸发台

色谱检测器/蒸发光检测器/紫外检测器品牌：CHA 型号：CHA MARK50 Evaporator

仪器名称：

电子束蒸发台

英文名称：

MARK 50

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

无

主要功能：

Cry-pum-Ultimat-Vacuum：2ETorr-Chambe-Bas-Vacuum：5ETorr；Pumpin-Speed：<5E-5Tor-withi-5mi-afte-Hiva-close；Chambe-temperature：Reac-320-i-10min，abov-200-constant；T-depositio-rate/Uniformity：10A/se-Uniformity≤5-(1sigma)；N-depositio-rate/Uniformity：6A/sec-Uniformity≤5-(1sigma)；A-depositi

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