典型用户

高真空三室EL OEL薄膜沉淀系统

甲烷/非甲烷烃检测仪品牌：科仪型号：K10-107

仪器名称：

高真空三室EL OEL薄膜沉淀系统

英文名称：

High vacuum chamber EL OEL film deposition system

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电子产品通用工艺实验设备

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

该系统为双室结构有机无机气相分子沉积系统，主要用来生长薄膜太阳能电池，OLED分子有机电致发光器件薄膜的研究工作。 1、系统采用直线式结构，系统由一个有机材料生长室和一个无机金属材料生长室组成，两个生长室之间通过闸板阀联接。 2、样品通过带远程手控盒功能的电动磁力耦合装置在两个生长室之间手动传递。 3. D型真空室，生长室极限真空度≤2.0×10-5 Pa；抽速：40分钟可达到1×10-4 Pa。 4. 有机材料生长室中放置OEL升华型蒸发源9支+下沉式有机蒸发源3支，束源炉坩埚容量10cc，室温-800℃。 5. 有机无机金属生长室中放置OEL升华型蒸发源6支+2组下沉式热阻蒸发源。 6. 镀膜样品尺寸：50×50mm，样品架尺寸：W118×L140mm；掩膜架尺寸：W118×L140mm。 7、二个生长室用二个SQM200石英晶振膜厚监测仪进行薄膜厚度测试，配备4个进口石英晶振探头。

主要功能：

高真空镀膜设备，可蒸镀最低1 nm厚度的有机物、金属、氧化物薄膜。

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