典型用户

陶瓷阴极与多弧复合离子镀膜机

镀膜机品牌：卓越型号：FHA-700

仪器名称：

陶瓷阴极与多弧复合离子镀膜机

英文名称：

PVD

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电真空器件工艺实验设备

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

极限真空1*10-3Pa，金属靶电流60-120A，陶瓷空心极电流范围60-160A，可沉积熔点低于2000摄氏度金属薄膜。金属沉积速度50nm/min。

主要功能：

超硬合金表面沉积硬质薄膜TiN，TiAlN等，具有耐磨减摩功能；沉积金属电极Al，Cu等，可用于锂电、超级电容器等方面；采用空心阴极等离子体可对目标材料实现掺杂、还原等功能。

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