典型用户

纳米通用图形发生器

电子探针X射线微区分析仪(EPMA) 品牌：中国科学院过程所型号：DY-2000A

仪器名称：

纳米通用图形发生器

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 电子探针

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

作图方式矢量扫描作图精度采用16位高精度D/A曝光速度图形发生器控制速度10MHz工件台移动范围50mm×50mm工件台测量精度60nm（光栅测量）工件台最大移动速度25mm/s曝光范围20mm×20mm最小线宽≤70nm（W灯丝）图形拼接精度120nm多场图形套刻精度120nm

主要功能：

DY-2000A型纳米通用图形发生器是纳米加工的重要装备，与扫描电子显微镜(FESEM)结合使用，构建成纳米加工的重要设备，进行纳米图形加工和纳米微结构制造。

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