原子力显微镜
其它测量/计量仪器
品牌:ECO
型号:DM3100
仪器名称:
原子力显微镜
英文名称:
Atomic force microscopy
所属分类:
计量仪器 > 长度计量仪器 > 原子力显微镜
学科领域:
材料科学
主要技术指标:
技术参数噪声:在屏蔽噪声和震动后,均方根在垂直(Z)方向上小于0.5埃 开环扫描头:X-Y方向上约90微米的正方形范围,Z方向上约6微米范围标准的横向精度在1%之内,最大2%在整个扫描范围和偏移量内,每个轴上都能达到全部16位分辨率 闭环扫描头:X-Y方向上约90微米的正方形范围,Z方向上约6微米范围,典型的横向非线性精度在1%之内,最大2%在整个扫描范围和偏移量内,每个轴上都能达到全部16位分辨率 带刻度的扫描头:X-Y方向上约75微米的正方形范围,Z方向上约7微米范围,横向精度±0.3
主要功能:
Dimension 3100 SPM 使用自动化的原子力显微镜和扫描隧道显微镜技术,可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面