原子力显微镜
其它测量/计量仪器
品牌：ECO
型号：DM3100
仪器名称：
原子力显微镜
英文名称：
Atomic force microscopy
所属分类：
计量仪器 > 长度计量仪器 > 原子力显微镜
学科领域：
材料科学
主要技术指标：
技术参数噪声：在屏蔽噪声和震动后，均方根在垂直（Z）方向上小于0.5埃 开环扫描头：X-Y方向上约90微米的正方形范围,Z方向上约6微米范围标准的横向精度在1%之内，最大2%在整个扫描范围和偏移量内，每个轴上都能达到全部16位分辨率 闭环扫描头：X-Y方向上约90微米的正方形范围,Z方向上约6微米范围,典型的横向非线性精度在1%之内，最大2%在整个扫描范围和偏移量内，每个轴上都能达到全部16位分辨率 带刻度的扫描头：X-Y方向上约75微米的正方形范围,Z方向上约7微米范围,横向精度±0.3
主要功能：
Dimension 3100 SPM 使用自动化的原子力显微镜和扫描隧道显微镜技术，可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、生物材料、光学材料和其它样品的表面
