典型用户

计算机控制扫描电子显微镜

扫描电镜（SEM）品牌：蔡司型号：EVO MA10

仪器名称：

计算机控制扫描电子显微镜

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

能源科学技术化学工程

主要技术指标：

二次电子分辨率不差于3.0nm @30kV、8.0nm @3kV和 15nm (1kV)背散射电子分0.3-30kV；放大倍数范围：5X－300,000X。样品室内最高真空度：优于3x10-4Pa，低真空压力范围：10Pa到270Pa。图像扫描：最大3072×2304像素。能谱仪元素分析范围Be4—U92，能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV，严格依照ISO15632国际标准测量。

主要功能：

EVO MA 10是一台通用的高性能钨灯丝扫描电子显微镜，具有全自动控制的分子泵+旋转泵的真空系统、自动透镜控制功能的电子光学系统、大样品室和五轴马达驱动样品台、二次电子探测器、4QBSD（背散射电子）探测器、数字图像存储与处理功能。

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中国科学院山西煤炭化学研究所拥有光电化学测试系统、CHNS/O有机元素分析仪、气质联用仪、原位 X射线粉末衍射仪、台式扫描电子显微镜、MOS波谱仪、液质联用仪、康塔IQ—微孔物理吸附仪、红外光谱仪、X-射线光电子能谱等科研仪器。

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