聚焦离子束系统
扫描电镜（SEM）
品牌：MP
型号：FIB200
仪器名称：
聚焦离子束系统
英文名称：
Focused Ion Beam System
所属分类：
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域：
电子与通信技术
主要技术指标：
分辨率５nm，30kV加速电压，离子束流1-11000pA
主要功能：
FIB200目前主要用以0.18um 以上集成电路修补包括Pt互连，新型辅助气体搭配离子束快速切割,低阻值探点的快速生成，电阻模拟，X-section 和TEM lamella 的制备等．
