典型用户

分子束外延设备

分子束外延(MBE) 品牌:SE 型号:V80H

仪器名称:
分子束外延设备

英文名称:

所属分类:
工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电真空器件工艺实验设备

学科领域:
物理学 材料科学

主要技术指标:
As\P\Sb基的III-V族化合物外延层生长,提供单原子层的生长精度

主要功能:
III-V化合物半导体外延材料生长,提供各类光电子、微电子器件用外延材料

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中国科学院物理研究所拥有软磁特性自动测量装置、高分辨显微共焦光谱仪、光谱型激光共聚焦荧光寿命显微镜、电子自旋探测器、高电压电子束曝光系统、光谱椭偏仪、低能高分辨率角分辨光电子能谱仪、分子束外延系统、综合物性测量系统(PPMS)、超低温恒温器系统等科研仪器。

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