紫外线光刻胶固胶机

仪器名称：

紫外线光刻胶固胶机

英文名称：

Fusion M150PC

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

无

主要功能：

Irradianc-a-wafe-plan-High-275+/-45mw/cm-(U-Spectrum230~320)Low:105+/-30mw/cm-(UVSpectrum75~135-U-uniformit-：+/-10%Therma-Chuc-tem-ram-RateTherma-Chuc-temp：-Degre-C/Se-Uniformity：+/Degre-a-10-Degre-Throughpu-U-t-5-wafers/hour