典型用户

电子探针分析仪

电子探针X射线微区分析仪(EPMA) 品牌：日本电子型号：JXA-8100

仪器名称：

电子探针分析仪

英文名称：

Electron Probe Analyzer

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 电子探针

学科领域：

物理学化学地球科学材料科学

主要技术指标：

探头：Si P-N结环形探测器二次电子分辨率：好于6nm 分析元素范围：B-U 放大倍数：40×-300×以上，连续可调分析精度：好于1% 波谱通道数：4CH 加速电压范围：0-30kv（每步≤0.5kv）探针电流范围：10-12-10-5A 束流稳定性：±0.5x10-3/h 电子像的畸变：2%(400倍放大率)，3%(400倍放大率) 真空度：好于1.3×10-3Pa 光学观察系统放大倍数：414，较小较好容易找分析点观察：CCD彩色相机（500万像素）最大样品尺寸：100mm×100mm×50mm 样品台移动距离:XY方向试样移动大于90mm，Z方向移动≥3mm 样品台位置定位：移动最小步长小于0.02μm，精度好于1μm

主要功能：

JXA-8100电子探针微量分析仪由日本电子株式会社生产。电子探针（EPMA）可对B-U(5-92)号元素组成的固体样品进行定性,定量，线、面分析及相分析。波长范围：0.087～9.3 nm；定量分析检测极限100ppm，二次电子像分辨率为6nm，背散射电子像分辨率为20 nm。X射线能谱仪（EDS）：为EPMA上的一个附件，主要用于对样品进行快速、准确的定性分析。

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